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蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。?
對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,終形成薄膜。
在光學(xué)薄膜的尺度上看(也就是1/10波長作為單位,約為100A),真空鍍膜的均勻性已經(jīng)相當(dāng)好,可以輕松將粗糙度控制在可見光波長的1/10范圍內(nèi),也就是說對于薄膜的光學(xué)特性來說,真空鍍膜沒有任何障礙。?
濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld,組分均勻性容易保持,而原子尺度的厚度均勻性相對較差(因?yàn)槭敲}沖濺射),晶向(外沿)生長的控制也比較一般。
3. 開維持泵、真空計電源,真空計檔位置V1位置,等待其值小于10后,再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。
4. 開機(jī)械泵、予抽,開渦輪分子泵電源、啟動,真空計開關(guān)換到V2位置,抽到小于2為止,約需20分鐘。
5. 觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達(dá)250以后,關(guān)予抽,開前機(jī)和
高閥繼續(xù)抽真空,抽真空到達(dá)一定程度后才能開右邊的高真空表頭,觀察真空度。真空到達(dá)2×10-3以后才能開電子槍電源。 1. 總電源。
2. 同時開電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源:按電子槍控制Ⅰ電源、延時開關(guān),延時、電源及保護(hù)燈亮,三分鐘后延時及保護(hù)燈滅,若后門未關(guān)好或水流繼電器有故障,保護(hù)燈會常亮。
3. 開高壓,高壓會達(dá)到10KV以上,調(diào)節(jié)束流可到200mA左右,簾柵為20V/100mA,燈絲電流1.2A,偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺動。 1. 關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵。
2. 待分子泵顯示到50時,依次關(guān)高閥、前級、機(jī)械泵,這期間約需40分鐘。
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離子鍍膜,一個精密的工藝過程,其核心是離子濺射鍍膜。對于導(dǎo)電靶,偏壓電源扮演了關(guān)鍵角色,采用直流電場的精密調(diào)控,確保陰極表面的電子被加速,進(jìn)而轟擊氣體分子,引發(fā)電離現(xiàn)象。這個過程中,電子被電場驅(qū)動,形成雪崩效應(yīng),直至氣體被擊穿,形成穩(wěn)定的電離電流,進(jìn)而驅(qū)動離子加速,撞擊靶材,將原子釋放并沉積在樣品表面,形成所需涂層。
偏壓電源,就像熒光燈中的核心組件,它通過高頻轉(zhuǎn)換電路,以單極性脈沖方式輸出。電源電壓的精細(xì)調(diào)整通過改變高頻轉(zhuǎn)換電路的輸入電壓實(shí)現(xiàn),穩(wěn)壓性能高達(dá)1%。這種設(shè)計允許在工藝所需電壓的同時,通過調(diào)整脈沖寬度來控制工件的加熱效果,適用于各種涂層需求,從工具保護(hù)到裝飾美化。
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抽空時間相同,而真空度偏低,這時候關(guān)閉主閥,如真空計指針很快下降,多數(shù)情況是真空室漏,應(yīng)先查出漏點(diǎn)。如真空計指針下降很慢,多數(shù)情況是真空機(jī)組抽氣能力不夠,查找真空泵及閥門看哪里出現(xiàn)泄漏,或是擴(kuò)散泵油污染或氧化;或前級管路密封不好,泵油不足;或泵油乳化,軸封漏油等。漏--分內(nèi)漏和外漏,較大的漏點(diǎn)可以用火焰法,利用氣流能使火焰偏離的原理,先抽上真空,比如用蠟燭或打火機(jī)在可疑點(diǎn)附近逐步查尋,會發(fā)現(xiàn)火苗向漏點(diǎn)偏移,則可找到漏點(diǎn)。查找小漏和微漏:利用在高真空狀態(tài)下電離管對某些氣體反應(yīng)敏感來檢漏,比如丙酮或乙醇,用醫(yī)用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇,噴到漏點(diǎn)時,電離計的指針會有明顯擺動。用這種方法檢漏一定要有耐心,一定要等到電離計的示值穩(wěn)定了--也就是真空機(jī)組的抽氣能力和漏率平衡了,然后再噴射。好是反復(fù)幾次,確認(rèn)漏點(diǎn)。內(nèi)漏多發(fā)生在有水冷套的設(shè)備上,查外漏沒有發(fā)現(xiàn)疑點(diǎn),但是卻有以下現(xiàn)象:機(jī)械泵的抽速明顯偏低、真空計示值低、機(jī)械泵油很快乳化、真空室內(nèi)的鐵基零部件明顯銹蝕。具備以上條件基本可以確定有內(nèi)漏。
真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備主要用于在經(jīng)予處理的塑料、陶瓷等制品表面蒸鍍金屬薄膜(鍍鋁、鉻、錫、不銹鋼等金屬)、七彩膜仿金膜等,從而獲得光亮、美觀、的塑料,陶瓷表面金屬化制品。廣泛應(yīng)用于工藝美術(shù)、裝璜裝飾、燈具、家具、玩具、酒瓶蓋、女式鞋后跟等領(lǐng)域,
JTPZ多功能鍍膜技術(shù)及設(shè)備(加有射頻等離子體聚合的蒸發(fā)鍍膜機(jī)),針對汽車、摩托車燈具而設(shè)計的,在一個真空室內(nèi)完成蒸發(fā)鍍鋁和射頻等離子體鍍保護(hù)膜,這種鍍膜后燈具具有“三防”功能。射頻等離子體聚合膜還應(yīng)用于光學(xué)產(chǎn)品、磁記錄介質(zhì)、軍事保護(hù)膜;防潮增透膜;防銹抗腐蝕;耐磨增硬膜。
真空鍍膜加工中冷卻設(shè)備需要提供智能、穩(wěn)定的冷凍水,來確保真空鍍膜工藝中電鍍液的溫度恒定,所以會選擇使用水冷式冷水機(jī)來作為真空鍍膜加工冷卻設(shè)備。
一 真空鍍膜加工中冷卻設(shè)備冷水機(jī)的作用
真空鍍膜加工過程中,真空鍍膜機(jī)作為主要設(shè)備,工作過程中有高頻電流過程,電導(dǎo)會在反復(fù)過程中產(chǎn)生大量熱能并且集聚在一起,需要冷卻設(shè)備及時地進(jìn)行冷卻,避免設(shè)備部件損壞,影響使用壽命;另外,真空鍍膜電鍍液需要根據(jù)電鍍產(chǎn)品不同進(jìn)行溫度調(diào)節(jié),并保持相對恒溫,反復(fù)鍍膜會造成鍍液溫度升高,同樣需要冷卻設(shè)備來準(zhǔn)確地控制和穩(wěn)定電鍍液的溫度。在工業(yè)生產(chǎn)控溫中,根據(jù)真空鍍膜加工的實(shí)際需求,選用相應(yīng)規(guī)格的冷水機(jī)設(shè)備來進(jìn)行、穩(wěn)定的溫度控制調(diào)節(jié)是經(jīng)濟(jì)有效的解決方案。
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