供應(yīng)商 | 蘇州碩世微電子有限公司 店鋪 |
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關(guān)鍵詞 | 晶圓挑片器報(bào)價(jià),鄭州晶圓挑片器,晶圓挑片器電話,晶圓挑片器廠家 |
所在地 | 江蘇蘇州園區(qū)東富路32號(hào) |
13年
為了保護(hù)晶圓在切割過程中免受外部損傷,事先會(huì)在晶圓上貼敷膠膜,以便更安全的“切單”?!氨趁鏈p薄”過程中,膠膜會(huì)貼在晶圓的正面。但與此相反,在“刀片”切割中,膠膜要貼在晶圓的背面。而在共晶貼片,把分離的芯片固定在PCB或定架上過程中,貼會(huì)背面的這一膠膜會(huì)自動(dòng)脫落。切割時(shí)由于摩擦很大,所以要從各個(gè)方向連續(xù)噴灑DI水(去離子水)。而且,葉輪要附有金剛石顆粒,這樣才可以更好地切片。此時(shí),切口(刀片厚度:凹槽的寬度)均勻,不得超過劃片槽的寬度。
切片工序的關(guān)鍵部分是切割刀片的修整(dressing)。在非監(jiān)測的切片系統(tǒng)中,修整工序是通過一套反復(fù)試驗(yàn)來建立的。在刀片負(fù)載受監(jiān)測的系統(tǒng)中,修整的終點(diǎn)是通過測量的力量數(shù)據(jù)來發(fā)現(xiàn)的,它建立佳的修整程序。這個(gè)方法有兩個(gè)優(yōu)點(diǎn):不需要來佳的刀片性能,和沒有合格率損失,該損失是由于用部分修整的刀片切片所造成的質(zhì)量差。
以穩(wěn)定的扭矩運(yùn)轉(zhuǎn)的系統(tǒng)要求進(jìn)給率、心軸速度和冷卻劑流量的穩(wěn)定。冷卻劑在刀片上施加阻力,它造成扭力。新一代的切片系統(tǒng)通過控制冷卻劑流量來保持穩(wěn)定的流速和阻力,從而保持冷卻劑扭矩影響穩(wěn)定。當(dāng)切片機(jī)有穩(wěn)定的冷卻劑流量和所有其它參數(shù)都受控制時(shí),維持一個(gè)穩(wěn)定的扭矩。如果記錄,從穩(wěn)定扭矩的任何偏離都是由于不受控的因素。這些包括由于噴嘴堵塞的冷卻劑流量變化、噴嘴調(diào)整的變化、刀片對(duì)刀片的變化、刀片情況和操作員錯(cuò)誤。
UV膜與藍(lán)膜相比,它的粘性剝離度可變性使得其性很大,主要作用為:用于wafer減薄過程中對(duì)wafer進(jìn)行固定;water劃切過程中,用于保護(hù)芯片,防止其脫落或崩邊,用于wafer的翻轉(zhuǎn)和運(yùn)輸,防止已經(jīng)劃好的芯片發(fā)生脫落。規(guī)范化使用UV膜和藍(lán)膜的各個(gè)參數(shù),根據(jù)芯片所需要的加工工藝,選擇合適的UV膜或者藍(lán)膜,即可以節(jié)省成本,又可以加進(jìn)芯片產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。
晶圓倒片機(jī)是用來調(diào)整集成電路產(chǎn)線上晶圓生產(chǎn)材料序列位置的一款設(shè)備,它的任務(wù)是將產(chǎn)線上的晶圓通過制程需要進(jìn)行分批、合并、翻轉(zhuǎn)后進(jìn)行下一道程序,這就要求晶圓倒片機(jī)擁有的傳送效率和潔凈程度。通俗來講,更方便制造芯片,并且能夠在高度環(huán)境要求下制造更好的芯片。
硅圓片切割應(yīng)用的目的是將產(chǎn)量和合格率大,同時(shí)資產(chǎn)擁有的成本小??墒牵魬?zhàn)是增加的產(chǎn)量經(jīng)常減少合格率,反之亦然。晶圓基板進(jìn)給到切割刀片的速度決定產(chǎn)出。隨著進(jìn)給速度增加,切割品質(zhì)變得更加難以維持在可接受的工藝窗口內(nèi)。進(jìn)給速度也影響刀片壽命。在許多晶圓的切割期間經(jīng)常遇到的較窄跡道(street)寬度,要求將每一次切割放在跡道中心幾微米范圍內(nèi)的能力。這就要求使用具有高分度軸精度、高光學(xué)放大和對(duì)準(zhǔn)運(yùn)算的設(shè)備。
所屬分類:電子產(chǎn)品制造設(shè)備/半導(dǎo)體設(shè)備
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