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主要應(yīng)用
編輯
濺射靶材主要應(yīng)用于電子及信息產(chǎn)業(yè),如集成電路、信息存儲(chǔ)、液晶顯示屏、激光存儲(chǔ)器、電子控制器件等;亦可應(yīng)用于玻璃鍍膜領(lǐng)域;還可以應(yīng)用于耐磨材料、高溫耐蝕、裝飾用品等行業(yè)。
分類
根據(jù)形狀可分為方靶,圓靶,異型靶
根據(jù)成份可分為金屬靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材
根據(jù)應(yīng)用不同又分為半導(dǎo)體關(guān)聯(lián)陶瓷靶材、記錄介質(zhì)陶瓷靶材、顯示陶瓷靶材、超導(dǎo)陶瓷靶材和巨磁電阻陶瓷靶材等
根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域分為微電材、磁記錄靶材、光碟靶材、貴金屬靶材、薄膜電阻靶材、導(dǎo)電膜靶材、表面改性靶材、光罩層靶材、裝飾層靶材、電極靶材、封裝靶材、其他靶材
鋯板,鋯圓靶,鋯管靶,鋯靶,鈦靶,鉻靶
各種類型的濺射薄膜材料,鉿靶,鋯靶在半導(dǎo)體集成電路(VLSI)、光碟、平面顯示器以及工件的表面涂層等方面都得到了廣泛的應(yīng)用。20世紀(jì)90年代以來,濺射靶材及濺射技術(shù)的同步發(fā)展,地滿足了各種新型電子元器件發(fā)展的需求。例如,在半導(dǎo)體集成電路制造過程中,以電阻率較低的銅導(dǎo)體薄膜代替鋁膜布線:在平面顯示器產(chǎn)業(yè)中,各種顯示技術(shù)(如LCD、PDP、OLED及FED等)的同步發(fā)展,有的已經(jīng)用于電腦及計(jì)算機(jī)的顯示器制造;在信息存儲(chǔ)產(chǎn)業(yè)中,磁性存儲(chǔ)器的存儲(chǔ)容量不斷增加,新的磁光記錄材料不斷推陳出新這些都對(duì)所需濺射靶材的質(zhì)量提出了越來越高的要求,需求數(shù)量也逐年增加。
市場概況
日本。就美國而言.約有50家中小規(guī)模的靶材制造商及經(jīng)銷商,其中大的公司員工大約有幾百人。不過為了能更接近使用者,以便提供更完善的售后服務(wù),全球主要靶材制造商通常會(huì)在客戶所在地設(shè)立分公司。近段時(shí)間,的一些國家和地區(qū),如臺(tái)灣.韓國和新加坡,就建立了越來越多制造薄膜元件或產(chǎn)品的工廠,如IC、液晶顯示器及光碟制造廠。
對(duì)靶材廠商而言,這是相當(dāng)重要的新興市場。中國靶材產(chǎn)業(yè)發(fā)展也是與日俱增,不斷的擴(kuò)大自己的規(guī)模和生產(chǎn)技術(shù),國內(nèi)一線生產(chǎn)制造靶材的已經(jīng)達(dá)到國外的技術(shù)水平。2010年,日本三菱公司就在中國臺(tái)灣地區(qū)建立了光碟塒靶材的生產(chǎn)基地,可以滿足臺(tái)灣50%的靶材需要。
鋯管-鋯板-鋯帶-鋯棒-鋯絲
牌號(hào):Zr-0、Zr-2、R60702,R60705、Zr-4;
規(guī)格: 0.03~50×200~600×Lmm 0.5~100×Lmm;
種類:軋制、鍛制、拉制;標(biāo)準(zhǔn):Q/BS6531-91、GB8769-88、Q/BS6331-91、Q/BS6431-91。
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