電子器件制造：ECR等離子體源在半導體工業(yè)中，微波等離子體源可用于清潔晶圓、蝕刻硅片和沉積薄膜層。其結構小巧，可以多個等離子體源組成等離子墻，或者不同形狀以使之便于不同情況的工程應用。
照明：微波等離子體源可用于制造高強度放電燈，如用于投影儀或汽車前燈的金屬鹵化物燈。 醫(yī)學應用：微波等離子體源可用于醫(yī)療消毒和手術中的組織電凝。
Sirem微波等離子體源源被設計成立或遠程操作、良好的電力穩(wěn)定性和顯著低電力損耗。 詳細和交互式的界面使它們易于操作、使用，可以通過RS232、RS485, ETHERNET 或現場總線連接進行模擬控制，如CanOpen、Modbus、Profibus等。
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