燒結(jié)銀AS9376在HPC中的典型應(yīng)用
?1. 芯片間3D堆疊互連
?技術(shù)挑戰(zhàn):
需實(shí)現(xiàn)微米級TSV(硅通孔)填充和高密度凸點(diǎn)互連,同時避免傳統(tǒng)熱壓燒結(jié)對下層芯片的形變影響。
無壓燒結(jié)銀AS9376解決方案:
?低溫?zé)Y(jié)工藝:在180℃下形成致密銀層,密度接近理論值(10.5 g/cm3),孔隙率<2%。
?高導(dǎo)電性:電阻率低至1.6 μΩ·cm,支持高頻信號傳輸(帶寬提升30%)。
假設(shè)?案例:用于NVIDIA的H100 GPU 3D堆疊,互連密度達(dá)10?/cm2,功耗降低15%。
無壓燒結(jié)銀AS9376用于MEMS慣性傳感器封裝
?技術(shù)挑戰(zhàn):
需兼容MEMS振梁等微結(jié)構(gòu)(尺寸<100 nm),避免高溫高壓導(dǎo)致形變或失效。
?AS9376解決方案:
?低應(yīng)力燒結(jié):燒結(jié)過程對硅基板應(yīng)力<5 MPa,振梁諧振頻率偏差<0.5%。
?真空密封:通過無壓燒結(jié)實(shí)現(xiàn)氣密性封裝(漏率<1×10?? Pa/m3),壽命>101?次循環(huán)。
?假設(shè)案例:博世MEMS陀螺儀采用AS9376封裝,體積縮小30%,成本降低20%。
燒結(jié)銀AS9376用于激光雷達(dá)光學(xué)模組集成
?技術(shù)挑戰(zhàn):
需將硅光芯片與光學(xué)元件無損互連,避免傳統(tǒng)焊接導(dǎo)致的界面反射損失。
?AS9376解決方案:
?納米級漿料:粒徑20-50 nm銀粉實(shí)現(xiàn)超薄互連層(厚度≤1 μm),插入損耗<0.1 dB。
?低溫工藝兼容:與UV固化工藝結(jié)合,避免高溫對光學(xué)元件的損傷。
假設(shè)?案例:Lumentum相干光引擎采用AS9376集成硅光芯片與光纖陣列,帶寬提升至1.6 Tbps。
燒結(jié)銀AS9376實(shí)施建議與驗(yàn)證方法
?燒結(jié)曲線設(shè)計:
推薦兩段式工藝:150℃預(yù)燒結(jié)(5 min)+峰值溫度180℃(3℃/s升溫,10 min保溫)。
燒結(jié)銀AS9375的可靠性測試:
PCT測試(100 bar/85℃)評估體積變化率(ΔV/V <0.5%)。
高溫加速老化(85℃/85%RH/1000小時)監(jiān)測電阻漂移率。
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