江蘇盱眙渦輪分子泵回收 江蘇盱眙藍寶石單晶爐回收
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爐子本體包括機架、坩堝驅(qū)動裝置、主爐室、翻板閥、副爐室、籽晶提升機構(gòu)、液壓驅(qū)動裝置、真空系統(tǒng)、沖系統(tǒng)及水冷系統(tǒng)。機架由底座、上立柱和下立柱組成,是爐子的支撐裝置。江浙滬皖贛冶煉行業(yè)成套設(shè)備回收單位,整改停用冶煉機械產(chǎn)品拆除回收,本長期收購中頻爐,單晶爐,電解爐,高風(fēng)爐,熱風(fēng)爐,單晶硅生長爐,整改回收,整流柜收購,電抗器拆除回收,水冷電纜拆除收購,動力電纜拆除收購業(yè)務(wù),我長年收購單晶爐設(shè)備歡迎來電詳詢。
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為了配合di76.Zmm器件生產(chǎn)線的發(fā)展,我所研制了國內(nèi)臺15~30公斤的DL。78型單晶爐[‘],并在該單晶爐上研究了48Omm硅單晶的控制工藝[‘]。在控制大直徑硅單晶的過程中,涉及的面比較廣,尤其是從我國原有1公斤、th3orum級的基礎(chǔ)上跳躍到12公斤、680mm硅單晶的拉制工藝,需要研究討論的問題很多,例如,熱場的設(shè)計、減壓工藝的設(shè)計與調(diào)整分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,因此,在向單晶爐內(nèi)不斷充入 的同時,還用真空泵將混合氣體排出爐外;在排氣時,混合氣體流經(jīng) 爐中的加熱器、坩堝支持器等處,后經(jīng)過爐下端的排氣口排出。上述圖1的單晶爐的不足之處在于單晶爐內(nèi)空間較大,尤其是坩堝 支持器下方的空間較大,導(dǎo)致坩堝支持器下方的混合氣體不能及時排出, 熱能消耗量較大;另外,現(xiàn)有技術(shù)中,從輸入管向爐內(nèi)充入時, 充氣氣壓為1. 3x 103pa,流量為40L/min,因此其消耗量大,生產(chǎn) 成本較高。
所屬分類:設(shè)備回收/壓縮分離設(shè)備回收
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