無錫多晶硅鑄錠爐回收 無錫真空泵回收
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具體實施方式為了使本發(fā)明的內(nèi)容更容易被清楚地理解,下面根據(jù)具體實施例并結(jié)合附圖,對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明,一種連續(xù)拉晶單晶爐,它包括括底座1、主爐室2、副爐室3、下驅(qū)動裝置4和上驅(qū)動裝置5,所述主爐室2和下驅(qū)動裝置4均安裝在底座1上,所述主爐室2內(nèi)設(shè)置有爐室坩堝21,所述下驅(qū)動裝置4和主爐室坩堝21相連,以便通過下驅(qū)動裝置4驅(qū)動主爐室坩堝21升降,所述副爐室3和主爐室2相連通,所述上驅(qū)動裝置5安裝在副爐室3的上端,以便通過上驅(qū)動裝置5驅(qū)動拉晶,其特征在于,它還包括:外部加料器6,所述外部加料器6內(nèi)設(shè)置有加料腔61,所述加料腔61內(nèi)設(shè)置有加料坩堝62,所述外部加料器6的蓋裝有上蓋63;藍(lán)寶石長晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長晶爐回收,多晶長晶爐回收,臥式長晶爐回收,拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,單晶爐提拉速度控制系統(tǒng)的設(shè)計與分析1 引 言半導(dǎo)體材料是半導(dǎo)體工業(yè)的基礎(chǔ)材料 ,其中用量和用途廣泛的是半導(dǎo)體硅。當(dāng)今 95%以上的半導(dǎo)體器件是用硅材料制造的 ,99%以上的集成電路是硅集成電路 ,生產(chǎn)集成電路所需要的單晶硅 ,是在硅結(jié)晶生長開始時 ,用提拉的辦法制成的。在單晶硅生產(chǎn)過程中 ,對晶體的提拉速度有十分嚴(yán)格的要求 ,從某種程度上講提拉速度的控制好壞將直接影響到晶體的質(zhì)量。對單晶硅生產(chǎn)過程中的提拉速度控制系統(tǒng)進(jìn)行研究有實際意義。圖 1示出了單晶爐提拉速度控制系統(tǒng)在單晶硅生產(chǎn)中的作用。提拉桿的運動是靠驅(qū)動電機通過減速器 ,再由齒輪齒條機構(gòu)帶動的。在單晶爐中 ,要求提拉單晶硅的提拉桿不僅能以某一期望線速度 V向上 (下 )運動 ,而且當(dāng)提拉負(fù)載增大引起線速度為零時 ,提拉桿能保持其后位置而不上下滑動。在實際單晶爐中 ,對提拉控制系統(tǒng)提出的主要技術(shù)指標(biāo)是 ,提拉速度在 0 .2~ 1 0 .0 mm/h范圍之內(nèi)實現(xiàn)無級可調(diào) ,線性精度大于± 2 %
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回收空調(diào)、冷凝器、變壓器、電容柜,電線電纜,輸配電設(shè)備,配電箱、回收變壓器(干式、油式、箱式)、電梯、空壓機、高壓開關(guān)、互感器、回收UBS電瓶、電動機、壓縮機、機械設(shè)備、廚房設(shè)備、酒店設(shè)備、辦公設(shè)備、電抗器、穩(wěn)壓器、高壓柜、低壓柜、啟動柜,發(fā)電機組,生產(chǎn)線,活動房,配電柜,收購交換器,冷凝器,叉車,行車,廠區(qū)行車,集裝箱等等提拉式單晶爐特點籽晶提拉及旋轉(zhuǎn)部件:實現(xiàn)了籽晶軸較高轉(zhuǎn)速時的系統(tǒng)平穩(wěn)性;籽晶軸旋轉(zhuǎn)及提拉密封均采用的磁流體密封組件,無泄露,長期使用不需充磁;精密花鍵軸及各驅(qū)動直流伺服電機均為進(jìn)口件,確保系統(tǒng)具有很高的可靠性。提拉頭經(jīng)過嚴(yán)格的靜平衡和動平衡測試,高速旋轉(zhuǎn)下籽晶晃動小于2mm,適應(yīng)半導(dǎo)體工藝需求。坩堝升降及旋轉(zhuǎn)部件:使用超大鑄鐵立柱、雙滾動直線導(dǎo)航、精密滾珠絲杠以及進(jìn)口等功能件組合設(shè)計,確保坩堝系統(tǒng)在超重低速工況下長期平穩(wěn)運行。浮動式翻板閥設(shè)在主副爐室之間,可在熱場維持工藝溫度的情況下,取出晶體,更換籽晶和補充加料進(jìn)行連續(xù)拉晶。
所屬分類:設(shè)備回收/冶金設(shè)備回收
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