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為了當(dāng)不再繼續(xù)加料時(shí)，化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置更好地驅(qū)動(dòng)導(dǎo)料管20提升不干涉主爐室坩堝21上升的位置，所述導(dǎo)流管20和支撐桿191均呈傾斜狀設(shè)置，所述支撐桿191和導(dǎo)流管20的傾斜方向及傾斜角度一致。為了增強(qiáng)外部化料器7的穩(wěn)固性，所述連接塊194少設(shè)置有兩個(gè)。為了防止?jié)櫥椭瑩]發(fā)污染原料，所述絲杠192的外側(cè)套裝有可伸縮的防塵罩95，所述防塵罩95為波紋防塵罩。藍(lán)寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，一種實(shí)用的單晶爐提拉速度控制系統(tǒng)\前言半導(dǎo)體材料是半導(dǎo)體工業(yè)的基礎(chǔ)材料 ,在半導(dǎo)體材料中用量和用途廣的是半導(dǎo)體硅。當(dāng)今 95 %以上的半導(dǎo)體器件是用硅材料制造的 ,99%以上的集成電路是硅集成電路。生產(chǎn)集成電路所需要的單晶硅 ,是在硅結(jié)晶生長開始時(shí) ,用低速提拉、生長過程均速提拉的辦法制成的。提拉速度的控制性能將直接影響到晶體的質(zhì)量。當(dāng)今 ,隨著 IT產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展 ,單晶硅生產(chǎn)市場(chǎng)需求劇,研制一種滿足工藝要求、低成本的提拉速度控制系統(tǒng)具有重要的實(shí)際意義。

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上虞半導(dǎo)體材料生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)計(jì)、制造和調(diào)試的股份制企業(yè)。通過人才引進(jìn)，擁有一批高、中級(jí)技術(shù)型的研發(fā)設(shè)計(jì)人員和經(jīng)營管理人才，具有自主的產(chǎn)品設(shè)計(jì)開發(fā)能力和相當(dāng)規(guī)模的生產(chǎn)能力。依托浙江大學(xué)機(jī)械電子控制工程研究所的高科技優(yōu)勢(shì)，通過與浙江大學(xué)大學(xué)科技園杭州慧翔電液技術(shù)開發(fā)有限合作，共同開發(fā)出擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的ZJS系列TDR80A，TDR80B，TDR8，TDR9型全自動(dòng)晶體生長爐，并形成批量生產(chǎn)。

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