南京江寧單晶爐回收 控制柜回收物流提貨

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所述氣流導(dǎo)向裝置20的中軸孔2-1與該爐的石墨中軸21活 動密封連接，以防止因該中軸孔2-1與石墨中軸21之間的間隙而漏氣，影 響排氣效果，氣流導(dǎo)向裝置20的電極孔2-2分別與該爐的電極柱15密封連 接，以防止因該電極孔2-2與電極柱15之間的間隙而漏氣，影響排氣效果。所述氣流導(dǎo)向裝置20的上端部2-4的外壁與該爐的保溫 筒17密封連接，以防止因氣流導(dǎo)向裝置20的上端部2-4的外壁與該爐的 保溫筒17之間的間隙而漏氣，影響排氣效果。所述氣流導(dǎo)向裝置20各通氣孔2-3與該爐的排氣口 13通過通 氣管19相連通，以提高排氣效果。所述氣流導(dǎo)向裝置20由石墨制成，石墨具有強度高、抗熱震性好、耐 高溫、抗氧化、電阻系數(shù)小、耐腐蝕、易于精密機加工等優(yōu)點。

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所述主爐室內(nèi)設(shè)置有主爐室坩堝，所述下驅(qū)動裝置和主爐室坩堝相連，以便通過下驅(qū)動裝置動主爐室坩堝升降，所述副爐室和主爐室相連通，所述上驅(qū)動裝置安裝在副爐室的上端，以便通過上驅(qū)動裝置驅(qū)動拉晶，它還包括：外部加料器，所述外部加料器內(nèi)設(shè)置有加料腔，所述加料腔內(nèi)設(shè)置有加料坩堝，所述外部加料器的蓋裝有上蓋；用于熔化硅料的外部化料器，所述外部化料器的和加料坩堝相連通，所述外部化料器的底端和主爐室坩堝相連通，以便將硅料加加料坩堝后，硅料漏外部化料器后被外部化料器熔化，被熔化后的硅料流主爐室坩堝內(nèi)。進一步提供了外部化料器的具體結(jié)構(gòu)，所述外部化料器包括裝料器、化料器坩堝和用于給化料器坩堝加熱以便硅料熔化的熱場，所述裝料器和加料坩堝相連通，所述化料器坩堝和裝料器相連通，所述熱場套裝在化料器坩堝的外側(cè)，便硅料依次進入加料坩堝、裝料器和化料器坩堝，并在化料器坩堝內(nèi)經(jīng)熱場熔化后又進入主爐室坩堝。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，美國國外以美國KAYEX為代表，生產(chǎn)全自動硅單晶體生長爐。KAYEX是目前世界上，進的硅單晶體生長爐制造商之一。KAYEX的產(chǎn)品早在80年代初進入市場，已成為半導(dǎo)體行業(yè)使用多的品牌。該生長的硅晶體生長爐從抽真空－檢漏－熔料－引晶－放肩－等徑－收尾到關(guān)機的全過程由計算機實行全自動控制。晶體產(chǎn)品的完整性與均勻性好，直徑偏差在單晶全長內(nèi)僅±1mm。主要產(chǎn)品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、KAYEX120PV、KEYEX150，Vision300型，投料量分別為30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。

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