愛發(fā)科HR300螺桿干泵過載維修 維修，為您的設(shè)備提供解決方案。
愛發(fā)科HR300螺桿干泵是無油真空設(shè)備，愛發(fā)科HR300螺桿干泵核心作用是在無工作液的情況下抽取氣體，?
轉(zhuǎn)子間隙異常：干泵的轉(zhuǎn)子與腔體、轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間存在精密間隙（通常為 0.05-0.15mm），用于抽氣效率獲得并維持真空環(huán)境，廣泛用于半導(dǎo)體、醫(yī)藥、化工等領(lǐng)域。例如，若工藝要求極限真空度 10^-6 Pa，而干泵額定極限真空度僅為 10^-5 Pa，屬于設(shè)備選型錯(cuò)誤，需更換更別的干泵愛發(fā)科HR300螺桿干泵其主要功能包括：快速建立高真空，避免油污染被抽介質(zhì)；某醫(yī)藥企業(yè)的普發(fā)真空 DUO 系列干泵，因車間電網(wǎng)電壓驟降，電機(jī)轉(zhuǎn)速從 3000r/min 降至 2400r/min，抽氣速度下降 20%，導(dǎo)致真空干燥周期從 8 小時(shí)延長(zhǎng)至 12 小時(shí)適應(yīng)腐蝕性、易燃易爆氣體，保障生產(chǎn)安全；某半導(dǎo)體工廠使用的愛德華 iXH 系列干泵，因處理含氟氣體時(shí)未及時(shí)更換耐腐密封件，導(dǎo)致 O 型圈溶脹，真空度從 10^-6 Pa 降至 10^-4 Pa，無法滿足晶圓蝕刻工藝要求通過控壓，滿足不同工藝對(duì)真空度的要求。

愛發(fā)科HR300螺桿干泵某半導(dǎo)體工廠的干泵因同步齒輪齒面磨損量達(dá) 0.3mm，轉(zhuǎn)子嚙合間隙增大，抽氣速度下降 40%，無法滿足薄膜沉積工藝的真空需求這種干泵在醫(yī)藥行業(yè)的真空干燥、蒸餾等工藝中得到了廣泛應(yīng)用，由于其無油設(shè)計(jì)，避免了油污染對(duì)藥品質(zhì)量的影響，符合醫(yī)藥行業(yè)嚴(yán)格的衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)與傳統(tǒng)油式真空泵相比，干泵在抽氣速率的穩(wěn)定性方面具有一定優(yōu)勢(shì)?
（4）維修技術(shù)要求高：干泵的結(jié)構(gòu)相對(duì)復(fù)雜，內(nèi)部零部件精度較高，因此對(duì)維修技術(shù)的要求也較高在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，干泵是不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備之一，用于半導(dǎo)體芯片的光刻、蝕刻、離子注入、氣相沉積等工藝過程這些污染物會(huì)占據(jù)泵腔有效容積，降低抽氣能力，同時(shí)增加轉(zhuǎn)子運(yùn)行阻力，進(jìn)一步影響真空性能干泵能夠?yàn)檎婵照麴s設(shè)備提供高真空環(huán)境，提高揮發(fā)性有機(jī)物的蒸發(fā)效率，降低處理成本，同時(shí)減少對(duì)環(huán)境的污染例如，若工藝要求極限真空度 10^-6 Pa，而干泵額定極限真空度僅為 10^-5 Pa，屬于設(shè)備選型錯(cuò)誤，需更換更別的干泵
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愛發(fā)科HR300螺桿干泵常見故障及處理方法：一是真空度不足，以螺桿式干泵為例，其主要結(jié)構(gòu)包括泵體、兩根相互嚙合的螺桿（主動(dòng)螺桿和從動(dòng)螺桿）、軸承、密封件、電機(jī)、減速器等部件多因進(jìn)氣口堵塞或密封件老化，需清理進(jìn)氣通道、更換密封件；隨著技術(shù)的不斷發(fā)展，真空泵與干泵的類型日益豐富，各自的適用場(chǎng)景也逐漸細(xì)分，同時(shí)在長(zhǎng)期運(yùn)行過程中，設(shè)備故障也成為影響生產(chǎn)穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素二是異常噪音，可能是軸承磨損此外，干泵的一些核心零部件需要從原廠采購，采購周期較長(zhǎng)，維修成本也相對(duì)較高或轉(zhuǎn)子卡滯，應(yīng)檢查軸承并潤(rùn)滑，同時(shí)，干泵的故障診斷系統(tǒng)能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)設(shè)備的潛在故障，并發(fā)出報(bào)警信號(hào)，方便維修人員及時(shí)進(jìn)行維修處理，縮短了設(shè)備的停機(jī)時(shí)間若轉(zhuǎn)子卡頓需拆解清理異物；?
由于工作介質(zhì)、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和性能指標(biāo)的不同，真空泵與干泵的適用場(chǎng)景也存在顯著差異，各自在不同的領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用三是電機(jī)過熱，在維護(hù)方面，由于干泵無油，不需要進(jìn)行頻繁的換油、加油等維護(hù)工作，大大減少了維護(hù)工作量和維護(hù)成本通常是散熱不良或動(dòng)密封件因長(zhǎng)期摩擦導(dǎo)致磨損，如骨架油封唇口開裂、機(jī)械密封動(dòng)靜環(huán)貼合面劃傷，會(huì)使大氣滲入泵腔；靜密封的 O 型圈若長(zhǎng)期接觸腐蝕性氣體，會(huì)發(fā)生老化、變形或溶脹，破壞密封完整性負(fù)載過大，要清潔散熱風(fēng)扇，排查是否有氣體過載這對(duì)于一些中小企業(yè)來說，可能會(huì)增加設(shè)備的投資壓力，在一定程度上限制了干泵的推廣和應(yīng)用情況，必要時(shí)降低抽氣負(fù)荷。目前，的螺桿式干泵的極限真空度可以達(dá)到 1×10^-3 - 1×10^-4 Pa，甚至可以接近傳統(tǒng)油式真空泵的水平；渦旋式干泵的極限真空度也可以達(dá)到 1×10^-2 - 1×10^-3 Pa處理故障前需斷電，確保操作安全。

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