鈀水回收，活性炭吸附法
將鈀水pH調(diào)至中性（6-7），加入活性炭吸附鈀絡(luò)合物，吸附容量約80mg/g。飽和活性炭經(jīng)高溫焚燒（800℃）獲得鈀灰，再溶解提純。該法設(shè)備簡(jiǎn)單，適合低濃度鈀水（＜0.5g/L）預(yù)處理，但需處理活性炭灰分中的雜質(zhì)。

鈀水生物吸附法
利用基因工程菌（如大腸桿菌）表面修飾的巰基（-SH）吸附鈀離子。菌體吸附量達(dá)200mg/g，吸附后焚燒獲得鈀富集物。清華大學(xué)團(tuán)隊(duì)開發(fā)的復(fù)合菌群處理成本僅為化學(xué)法的1/5，但處理周期需5-7天。
鈀水膜分離技術(shù)
采用納濾膜（截留分子量200Da）濃縮鈀水。在壓力1-2MPa下，鈀離子被截留，透過的雜質(zhì)離子排出。該法可將鈀濃度從0.5g/L濃縮至10g/L，回收率＞95%，適合低濃度廢液的初步富集。

高純度鈀水氯化鈀溶液回收制備標(biāo)準(zhǔn)
工藝要求：鈀水回收
原料：海綿鈀≥99.95%，鹽酸（電子級(jí)，Cl?≥36%）
溶解條件：王水溶解（HCl:HNO?=3:1），80℃攪拌至完全溶解
純化步驟：
離子交換去除Fe3+/Cu2+（＜0.1ppm）
真空濃縮至Pd 100±1g/L0.1μm終端過濾
檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)：ICP-MS檢測(cè)：Pt＜5ppm、Au＜1ppm、Ni＜2ppm
比重：1.25±0.02g/cm3（25℃）
行業(yè)應(yīng)用：半導(dǎo)體靶材鍍液，滿足SEMI F73-0301標(biāo)準(zhǔn)。
產(chǎn)能數(shù)據(jù)：國(guó)內(nèi)頭部企業(yè)月產(chǎn)50噸，占全球市場(chǎng)35%份額

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