深圳GSI鉭鈮礦化驗測試機構"以"行為公正、方法科學、數(shù)據(jù)準確、服務"為質量方針,秉承"質量,客戶至上"的服務宗旨,愿以準確的檢驗、公正的、快捷的代理、滿意的咨詢竭誠為各行各業(yè)的顧客提供的質量技術服務,并不斷豐富服務內容、完善服務手段、提高服務質量,成為備受客戶信賴的技術合作伙伴。
研究表明,影響氮化鉭薄膜結合力的主要因素為濺射壓力和加熱溫度,氮分壓比、濺射電流為次要因素;氮分壓對氮化鉭薄膜的硬度影響較大
氮化鉭為黑色六方結晶。相對密度為13.4,熔點為3090℃,顯微硬度為1100kg/mm2,熱導率為9.54W/(m·K),電阻率為128μΩ·cm
氮化鉭靶材合成
1、將金屬鉭粉用氮氣或氨氣在1100℃左右直接氮化制得;
2、以金屬鉭和氮氣為原料制備氮化鉭,反應式如下:2Ta+N2=2TaN。
【中文名稱】五氧化二鉭
【英文名稱】tantalic oxide; tantalum pentoxide
【結構或分子式】 Ta2O5
【分子量】 441.89
【密度】8.2g/cm3
【熔點(℃)】1800
【性狀】
白色斜方晶體,菱形柱狀體。
【溶解情況】
溶于熔融硫酸氫鉀和氫氟酸,不溶于水和其他酸。
又稱“氧化鉭”?;瘜W式Ta2O5。含O18.1%。酸性氧化物,結晶形白色粉末或無色難溶性粉末。相對密度8.2,熔點1872℃±10℃。有多種同素異形體,其中β-Ta2O5在1360℃以下穩(wěn)定存在,斜方晶系,a=6.192×10-8cm、b=44.02×10-8cm,c=3.898×10-8cm;而α-Ta2O5在熔點以下穩(wěn)定存在,四方晶系,a=3.81×10-8cm、c=35.67×10-8cm、c/a=9.36。不溶于水、醇、礦酸類和堿溶液,溶于氫氟酸和熔融的堿或焦硫酸鉀。
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