浙江淳安螺桿真空泵回收 浙江淳安提拉式長晶爐回收

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單晶爐提拉速度控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與分析1　引　言半導(dǎo)體材料是半導(dǎo)體工業(yè)的基礎(chǔ)材料 ,其中用量和用途廣泛的是半導(dǎo)體硅。當(dāng)今 95%以上的半導(dǎo)體器件是用硅材料制造的 ,99%以上的集成電路是硅集成電路 ,生產(chǎn)集成電路所需要的單晶硅 ,是在硅結(jié)晶生長開始時(shí) ,用提拉的辦法制成的。在單晶硅生產(chǎn)過程中 ,對晶體的提拉速度有十分嚴(yán)格的要求 ,從某種程度上講提拉速度的控制好壞將直接影響到晶體的質(zhì)量。對單晶硅生產(chǎn)過程中的提拉速度控制系統(tǒng)進(jìn)行研究有實(shí)際意義。圖 1示出了單晶爐提拉速度控制系統(tǒng)在單晶硅生產(chǎn)中的作用。提拉桿的運(yùn)動(dòng)是靠驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過減速器 ,再由齒輪齒條機(jī)構(gòu)帶動(dòng)的。在單晶爐中 ,要求提拉單晶硅的提拉桿不僅能以某一期望線速度 V向上 (下 )運(yùn)動(dòng) ,而且當(dāng)提拉負(fù)載增大引起線速度為零時(shí) ,提拉桿能保持其后位置而不上下滑動(dòng)。在實(shí)際單晶爐中 ,對提拉控制系統(tǒng)提出的主要技術(shù)指標(biāo)是 ,提拉速度在 0 .2～ 1 0 .0 mm/h范圍之內(nèi)實(shí)現(xiàn)無級可調(diào) ,線性精度大于± 2 %

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進(jìn)一步為了防止在副爐室移動(dòng)到取晶位的過程中，因晶棒掉落而出現(xiàn)事故，連續(xù)拉晶單晶爐還包括在副爐室移動(dòng)到取晶位的過程中用于承接晶棒的電動(dòng)接晶托，所述電動(dòng)接晶托包括提升桿、用于承接晶棒的托板、電動(dòng)推桿、接晶托電機(jī)和固定管，所述電動(dòng)推桿連接在副爐室旋臂上，所述提升桿連接在電動(dòng)推桿的推桿上，以便通過推桿的升降帶動(dòng)提升桿升降，所述接晶托電機(jī)連接在提升桿上，所述托板連接在接晶托電機(jī)的輸出軸上，以便通過接晶托電機(jī)驅(qū)動(dòng)托板旋轉(zhuǎn)，所述固定管套裝在提升桿和電動(dòng)推桿的推桿的外側(cè)，所述固定管連接在副爐室旋臂上。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，2011年度，相關(guān)部門推出了一系列的激勵(lì)政策，包括2011年度的金太陽項(xiàng)目，太陽能光電建筑應(yīng)用示范工程，以及光伏上網(wǎng)電價(jià)等。這些政策的出臺和實(shí)施，對光伏產(chǎn)業(yè)起到了很好的推動(dòng)作用。在能源科技“十二五”規(guī)劃中，明確劃分了4個(gè)技術(shù)領(lǐng)域：勘探與開采技術(shù)、加工與轉(zhuǎn)化技術(shù)、發(fā)電與輸配電技術(shù)和新能源技術(shù)。提到2020年，光伏發(fā)電成本降低到與常規(guī)電力相當(dāng)?shù)哪繕?biāo)，充分體現(xiàn)了實(shí)現(xiàn)由能源大國向能源強(qiáng)國轉(zhuǎn)變、促進(jìn)光伏應(yīng)用發(fā)展的決心。而能源局公布的“十二五”可再生能源目標(biāo)，提出到2015年光伏發(fā)電將達(dá)到15GW，發(fā)電量200億千瓦時(shí)。核心提示：《規(guī)劃》明確了七大領(lǐng)域的發(fā)展方向，制定了產(chǎn)業(yè)發(fā)展路線圖，提出了各領(lǐng)域發(fā)展的標(biāo)志性目標(biāo)、提升整體創(chuàng)新能力與拓展市場應(yīng)用等創(chuàng)新發(fā)展重大行動(dòng)計(jì)劃、主要政策措施，力圖為產(chǎn)業(yè)發(fā)展指出更加清晰的發(fā)展方向。

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