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直拉式單晶生長爐的制作方法、專利名稱：直拉式單晶生長爐的制作方法、技術(shù)領(lǐng)域：本發(fā)明涉及一種直拉式單晶生長爐。背景技術(shù)：圖1為切克勞斯基(直拉)法制造硅單晶的單晶爐剖面示意圖；圖1-2 中，l為爐筒，2為保溫蓋，3為保溫蓋，4為保溫材津牛，5為保溫罩，6為 加熱器，7為水套，8為石英堝，9為導(dǎo)流筒，IO為爐底護盤、12為輸 入管、11為分布有出氣孔11-1的環(huán)形氣體分布器、13為排氣口。直拉硅單晶在生長過程中需要向爐內(nèi)不斷充入，并與爐內(nèi)生成的 一氧化硅及雜質(zhì)粉塵混合，由于單晶爐內(nèi)的加熱器和坩堝支持器等均由石 墨制成， 一氧化硅易腐蝕所述石墨制成的器件且雜質(zhì)粉塵易吸附在這些器 件上，從而影響了單晶爐的使用壽命。藍寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，產(chǎn)品介紹：SG-XQL1400型箱式真空氣氛爐以硅碳棒為加熱元件，，采用智能化控溫系統(tǒng)，移相觸發(fā)、可控硅控制；爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，保溫效果好；雙層殼體結(jié)構(gòu)，帶有風(fēng)冷和水冷系統(tǒng)，能快速降溫，爐門配有循環(huán)水冷，防止密封圈過快老化，保爐門與爐膽的可靠密封。主要用途和適用范圍\可應(yīng)用于電子元器件、新型材料及粉體材料的真空或氣氛條件下的熱處理工藝。也用于冶金、機械、輕工、商檢、高等院校及科研部門、工礦企業(yè)電子陶瓷產(chǎn)品的預(yù)燒、燒結(jié)、釬焊等工藝。主要功能和特點：1、

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所述加料器升降驅(qū)動裝置包括升降絲桿91、拖板92和絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置，底座1上設(shè)置有立柱10，所述升降絲桿91可旋轉(zhuǎn)地支承在立柱10上，所述拖板92通過螺紋連接在升降絲桿91上，所述加料器旋臂8連接在拖板92上，所述升降絲桿91連接在絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置上，以便通過絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置驅(qū)動升降絲桿91旋轉(zhuǎn)，進而將升降絲桿91的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為加料器旋臂8的升降運動。具體地，所述絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置包括升降電機93和減速機94，所述減速機94連接在升降電機93的輸出軸上，所述升降絲桿91連接在減速機94的輸出軸上。

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