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為了當(dāng)不再繼續(xù)加料時,化料器升降驅(qū)動裝置更好地驅(qū)動導(dǎo)料管20提升不干涉主爐室坩堝21上升的位置,所述導(dǎo)流管20和支撐桿191均呈傾斜狀設(shè)置,所述支撐桿191和導(dǎo)流管20的傾斜方向及傾斜角度一致。為了增強外部化料器7的穩(wěn)固性,所述連接塊194少設(shè)置有兩個。為了防止?jié)櫥椭瑩]發(fā)污染原料,所述絲杠192的外側(cè)套裝有可伸縮的防塵罩95,所述防塵罩95為波紋防塵罩。
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進一步提供了一種加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置的具體結(jié)構(gòu),所述加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置包括旋轉(zhuǎn)電機、旋轉(zhuǎn)絲桿、旋轉(zhuǎn)套和固定座,所述旋轉(zhuǎn)套鉸接在拖板上,所述旋轉(zhuǎn)絲桿可旋轉(zhuǎn)地支承在固定座上,所述旋轉(zhuǎn)電機安裝在固定座上,所述旋轉(zhuǎn)絲桿的一端部和旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸相連接,所述旋轉(zhuǎn)絲桿的另一端部和旋轉(zhuǎn)套通過螺紋連接,所述加料器旋臂鉸接在拖板上,以便通過旋轉(zhuǎn)電機驅(qū)動旋轉(zhuǎn)絲桿在旋轉(zhuǎn)套內(nèi)旋進旋出,使得固定座產(chǎn)生位移,并使固定座帶動加料器旋臂旋轉(zhuǎn)。進一步為了方便副爐室移動到取晶位,并方便副爐室的拆解、清理,連續(xù)拉晶單晶爐還包括副爐室升降驅(qū)動裝置和副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置,所述所述副爐室通過副爐室旋臂連接在副爐室升降驅(qū)動裝置上,以便通過副爐室升降驅(qū)動裝置驅(qū)動副爐室旋臂升降,并通過副爐室旋臂帶動副爐室升降,所述副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置連接在副爐室升降驅(qū)動裝置和副爐室旋臂之間,以便使得副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置隨副爐室旋臂一起升降,并通過副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置驅(qū)動副爐室旋臂旋轉(zhuǎn),副爐室旋臂又帶動副爐室旋轉(zhuǎn)。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,采用了上述技術(shù)方案后,本發(fā)明具有以下有益效果:、取出晶棒后,將硅料加入加料坩堝,蓋上外部加料器的上蓋,將外部加料器真空抽到合適壓力值時打開旋閥,硅料落入外部化料器中并在外部化料器中被熔化,熔化后的硅料流入主爐室坩堝,當(dāng)外部化料器中的硅料加完后,再關(guān)閉旋閥,把外部加料器充常壓,打開外部加料器的上蓋繼續(xù)加料,如此循環(huán),進而完成外部加料、化料,本發(fā)明可實現(xiàn)連續(xù)拉晶,選用合適的主爐室坩堝可以實現(xiàn)連續(xù)拉制五六根晶棒,可大幅減少冷卻、拆爐、裝爐的時間,進而提高生產(chǎn)效率;、
所屬分類:設(shè)備回收/冶金設(shè)備回收
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