江蘇吳中控制屏回收 江蘇吳中長(zhǎng)晶爐回收
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在該爐工作前，由設(shè)于排氣口 13上的真空泵將爐內(nèi)空氣排盡，然后從 該爐上端充入。工作時(shí)，爐內(nèi)的石英坩堝上方不斷有一氧化硅和粉塵 雜質(zhì)生成，因此在不斷充入的同時(shí)，所述真空泵同時(shí)將一氧化硅、粉 塵雜質(zhì)與等的混合氣體排出，其中，氣體的流動(dòng)過(guò)程為從石英坩堝上 方經(jīng)坩堝支持器14與發(fā)熱體16之間的間隙，以及發(fā)熱體16與保溫筒17 之間的間隙流入氣流導(dǎo)向裝置20,然后經(jīng)圖6中的氣流導(dǎo)向裝置20的一對(duì) 通氣孔2-3、通氣管19從排氣口 13排出。本實(shí)施例的氣流導(dǎo)向裝置20可有效減小爐內(nèi)空間(尤其是坩堝支持器 14下方的空間)，便于排氣，且利于減少熱能和的消耗量；另外，藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長(zhǎng)晶爐回收，多晶長(zhǎng)晶爐回收，臥式長(zhǎng)晶爐回收，拉式單晶爐、收購(gòu)直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，所述主爐室內(nèi)設(shè)置有主爐室坩堝，所述下驅(qū)動(dòng)裝置和主爐室坩堝相連，以便通過(guò)下驅(qū)動(dòng)裝置動(dòng)主爐室坩堝升降，所述副爐室和主爐室相連通，所述上驅(qū)動(dòng)裝置安裝在副爐室的上端，以便通過(guò)上驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)拉晶，它還包括：外部加料器，所述外部加料器內(nèi)設(shè)置有加料腔，所述加料腔內(nèi)設(shè)置有加料坩堝，所述外部加料器的蓋裝有上蓋；用于熔化硅料的外部化料器，所述外部化料器的和加料坩堝相連通，所述外部化料器的底端和主爐室坩堝相連通，以便將硅料加加料坩堝后，硅料漏外部化料器后被外部化料器熔化，被熔化后的硅料流主爐室坩堝內(nèi)。進(jìn)一步提供了外部化料器的具體結(jié)構(gòu)，所述外部化料器包括裝料器、化料器坩堝和用于給化料器坩堝加熱以便硅料熔化的熱場(chǎng)，所述裝料器和加料坩堝相連通，所述化料器坩堝和裝料器相連通，所述熱場(chǎng)套裝在化料器坩堝的外側(cè)，便硅料依次進(jìn)入加料坩堝、裝料器和化料器坩堝，并在化料器坩堝內(nèi)經(jīng)熱場(chǎng)熔化后又進(jìn)入主爐室坩堝。

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所述加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置包括升降絲桿91、拖板92和絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，底座1上設(shè)置有立柱10，所述升降絲桿91可旋轉(zhuǎn)地支承在立柱10上，所述拖板92通過(guò)螺紋連接在升降絲桿91上，所述加料器旋臂8連接在拖板92上，所述升降絲桿91連接在絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置上，以便通過(guò)絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)升降絲桿91旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而將升降絲桿91的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為加料器旋臂8的升降運(yùn)動(dòng)。具體地，所述絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置包括升降電機(jī)93和減速機(jī)94，所述減速機(jī)94連接在升降電機(jī)93的輸出軸上，所述升降絲桿91連接在減速機(jī)94的輸出軸上。

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