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所述加料器升降驅(qū)動裝置包括升降絲桿91、拖板92和絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置,底座1上設(shè)置有立柱10,所述升降絲桿91可旋轉(zhuǎn)地支承在立柱10上,所述拖板92通過螺紋連接在升降絲桿91上,所述加料器旋臂8連接在拖板92上,所述升降絲桿91連接在絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置上,以便通過絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置驅(qū)動升降絲桿91旋轉(zhuǎn),進(jìn)而將升降絲桿91的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為加料器旋臂8的升降運動。具體地,所述絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置包括升降電機(jī)93和減速機(jī)94,所述減速機(jī)94連接在升降電機(jī)93的輸出軸上,所述升降絲桿91連接在減速機(jī)94的輸出軸上。
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因此在投資單晶生長企業(yè)的前期,一定要根據(jù)生長設(shè)備,配置出合理的熱場,從而保生產(chǎn)出來的單晶的品質(zhì)。在晶體生長分析與設(shè)計中,實驗與數(shù)值仿真是相輔相成的,其過程可以分為兩個部分:(1)在階段,利用引上法晶體生長實驗來進(jìn)行數(shù)值模擬參數(shù)的調(diào)整(2)在二階段,利用數(shù)值模擬是用來確定的晶體生長工藝參數(shù)。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,本文結(jié)合某單晶爐產(chǎn)品的研制 ,設(shè)計了一種實用的單晶爐提拉速度控制系統(tǒng) ,并在實際生產(chǎn)中獲得成功應(yīng)用。2 設(shè)計的關(guān)鍵圖 1示出了單晶爐提拉的工藝過程。提拉控制系統(tǒng)的驅(qū)動電機(jī)轉(zhuǎn)速 n經(jīng)減速器、齒輪齒條減速后帶動提拉桿上下運動。根據(jù)硅單晶生產(chǎn)工藝 ,要求提拉速度 V能在 ( 0 .2~ 1 0 .0 ) mm/h內(nèi)無級調(diào)節(jié) ,它相對于給定信號的線性精度 ± 2 %。經(jīng)折算后 (見下節(jié)式 ( 3) )
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