| 供應(yīng)商 | 青島晨立電子有限公司 店鋪 |
|---|---|
| 認(rèn)證 | |
| 報(bào)價(jià) | 人民幣 220000.00元每臺(tái) |
| 產(chǎn)地 | 山東 |
| 品牌 | 晨立 |
| 鍋爐用途 | 工業(yè)鍋爐 |
| 關(guān)鍵詞 | 高真空退火爐,真空爐,退火爐,氧化爐 |
| 所在地 | 山東青島即墨市泰山三路285號(hào)聯(lián)東U谷即墨科技創(chuàng)新谷3號(hào)樓 |
用途：
高真空退火爐供大規(guī)模集成電路、MEMS 生產(chǎn)線用做6\"硅片的合金、氧化、退火、燒結(jié)、擴(kuò)散等工藝使用。同時(shí)也可下沉工藝，完成4寸wafer 的相應(yīng)工藝。
一、設(shè)備結(jié)構(gòu):
1、操作方式:左(右)手操作方式
2、硅片尺寸:圓形6寸片
3、工藝布局:滿足客戶工藝要求
4、自動(dòng)化程度:工控機(jī)控制系統(tǒng)自動(dòng)控制工藝流程
5、送取片方式:手動(dòng)進(jìn)出舟。
6、外形:主機(jī)1臺(tái)，主機(jī)架為臥式兩管。
二、主要技術(shù)參數(shù):
1、加熱爐管有效口徑:滿足6英寸硅片?？上蛳录嫒?寸和4寸硅片。
2、工作溫度范圍: 200~800℃
3、恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度: 600mm，
4、控制方式:由工控機(jī)統(tǒng)一管理工藝
5、真空度：2*10-4 Pa
所屬分類：鑄造及熱處理設(shè)備/工業(yè)爐
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主營(yíng)產(chǎn)品: 擴(kuò)散爐,退火爐,隧道式燒結(jié)爐,真空爐
青島晨立電子有限公司成立于2009年，是半導(dǎo)體設(shè)備及零部件、電子設(shè)備及電子元器件生產(chǎn)、研發(fā)、銷售廠家。為客戶提供材料熱處理、電加熱設(shè)備及系統(tǒng)集成等全套解決方案。 主要產(chǎn)品：高低溫?cái)U(kuò)散爐、實(shí)驗(yàn)爐、共晶爐、燒結(jié)爐、加磁爐、智能溫度控制系統(tǒng)和替代進(jìn)口的擴(kuò)散爐爐體等，同時(shí)承接各種微電子生產(chǎn)線，進(jìn)口半導(dǎo)體設(shè)備的翻新升級(jí)改造及各大專院?？蒲性核姆菢?biāo)研發(fā)定制工作。 公司本著和諧、共贏，以“質(zhì)量求發(fā)展、以誠(chéng)信為根本、以客戶為中心、以用戶滿意”為終目標(biāo)的企業(yè)方針，為客戶提供的產(chǎn)品，優(yōu)良的服務(wù)。
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