懸浮分子污染(AMC)4.1AMC的分類及控制要求情況AMC作為IC工廠所關(guān)心的問題于2年前先由日本人提出，近年來，IC生產(chǎn)園片直徑已達3mm，工藝加工尺寸(線寬)已小于.15m，在某些加工工序及工序間園片的傳送和存放環(huán)境中AMC已成為嚴(yán)重影響成品率的問題，已被清楚的認(rèn)識到，AMC的控制已由談?wù)撧D(zhuǎn)到需要實施。對于IC生產(chǎn)，AMC分為D四類，即：A酸性物質(zhì)，如Hcl等;B堿性物質(zhì)，如NH3等;C沸點室溫能在光潔表面冷凝的物質(zhì)，主要是碳?xì)浠衔?，某些工藝加工環(huán)境中的水蒸汽亦需要考慮;D摻雜物質(zhì)，能為園片表面吸附或與表面相互反應(yīng)的物質(zhì)，如砷、硼、磷等。VB12濃縮液+淀粉兩種物料均為含固量約為5%的懸濁液，攪拌罐存放，不斷攪拌。塔進料選用泵輸送。kg/h水分蒸發(fā)量，出成品含水量淀粉的1%、碳酸鈣的4%。進料條件：5%固含量，通過蠕動泵等輸送至塔內(nèi)，要求物料溫度65℃，瞬間加熱。設(shè)備安裝，主塔安裝在室外，出料進入室內(nèi)三層貼臨的廠房內(nèi)，出料口高度為+15m左右。設(shè)備加熱方式選用蒸汽（.6MPa飽和蒸汽），二級電加熱，進口溫度22℃，出口溫度8-9℃。

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