蘇州平江直拉式單晶爐回收 蘇州平江分子泵回收
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單晶爐晶體提拉系統(tǒng)平衡研究\提拉法單晶爐是晶體生長設備中重要的產(chǎn)品系列之一,用此方法單晶生長速度,晶體尺寸,晶體質(zhì)量,易實現(xiàn)自動控制,因此獲得了廣泛的應用。而此方法生產(chǎn)單晶的主要因素取決于單晶提拉過程的平穩(wěn)性,因此提拉系統(tǒng)良好的平穩(wěn)性是提高單晶爐設備性能和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵。以良好的平穩(wěn)性為目標,本文對單晶爐提拉系統(tǒng)進行了系統(tǒng)平衡方面的研究。本文介紹了單晶爐提拉系統(tǒng)的功能、結(jié)構(gòu)特點以及工作原理；討論了單晶爐提拉系統(tǒng)靜平衡與動平衡的原理和方法,分析、研究了提拉系統(tǒng)完全平衡的條件,以及提拉系統(tǒng)不平衡校正的方法。
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提拉式單晶爐技術(shù)參數(shù)1、電源電壓：380VAC±5%2、電源頻率：50HZ 3、電源相數(shù)：3相3線制4、變壓器容量：190KVA5、加熱器加熱功率：160KW6、加熱溫度：1600℃7、加熱器加熱電壓：60V8、冷爐極限真空度：＜a9、晶體直徑：￠6〞～￠8〞10、熔料量 ：90Kg11、主爐室尺寸：φ900×1250mm上爐室尺寸：φ900×900mm下爐室尺寸：φ900×350mm12、翻板閥通徑：φ280mm13、封頭爐蓋高度：410mm14、副爐室尺寸：φ280×250015、籽晶轉(zhuǎn)速范圍：1～40rpm16、籽晶拉速范圍：0.2～8mm/min17、籽晶快速：≥350mm/min18、籽晶在爐內(nèi)有效行程：3500mm19、籽晶在副室內(nèi)有效行程：2100mm20、坩堝升速范圍：0.02～1mm/min21、坩堝快速：≥100mm/min22、坩堝在爐內(nèi)有效行程：400mm23、坩堝轉(zhuǎn)速范圍：1～30rpm24、兩個電極孔孔距：480mm 25、耗水量：25m3/h26、主機占地面積：2500x2000mm27、主機高度：6800mm28、主機重量：約7500Kg分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，特點編輯HD系列硅單晶爐的爐室采用3節(jié)設計。上筒和上蓋可以上升并向兩邊轉(zhuǎn)動，便于裝料和維護等。爐筒升降支撐采用雙立柱設計，提高穩(wěn)定性。支撐柱安裝在爐體支撐平臺的上面，便于平臺下面設備的維護。爐筒升降采用絲杠提升技術(shù)，簡便干凈。
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