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單晶爐晶體提拉系統(tǒng)平衡研究\提拉法單晶爐是晶體生長設備中重要的產(chǎn)品系列之一,用此方法單晶生長速度,晶體尺寸,晶體質量,易實現(xiàn)自動控制,因此獲得了廣泛的應用。而此方法生產(chǎn)單晶的主要因素取決于單晶提拉過程的平穩(wěn)性,因此提拉系統(tǒng)良好的平穩(wěn)性是提高單晶爐設備性能和生產(chǎn)效率的關鍵。以良好的平穩(wěn)性為目標,本文對單晶爐提拉系統(tǒng)進行了系統(tǒng)平衡方面的研究。本文介紹了單晶爐提拉系統(tǒng)的功能、結構特點以及工作原理；討論了單晶爐提拉系統(tǒng)靜平衡與動平衡的原理和方法,分析、研究了提拉系統(tǒng)完全平衡的條件,以及提拉系統(tǒng)不平衡校正的方法。
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單晶硅生長爐原理簡介單晶硅生長爐的特點\單晶硅生長爐是通過直拉法生產(chǎn)單晶硅的制造設備。主要由主機、加熱電源和計算機控制系統(tǒng)三大部分組成。1、主機部分：機架，雙立柱\雙層水冷式結構爐體\水冷式閥座\晶體提升及旋轉機構\坩堝提升及旋轉機構\系統(tǒng)\真空系統(tǒng)及自動爐壓檢測控制\水冷系統(tǒng)及多種安全保障裝置\留有二次加料口2、加熱器電源：全水冷電源裝置采用專利電源或原裝進口IG及超快恢復二極管等功率器件。配以高頻變壓器，構成新一代高頻開關電源。采用移相全橋軟開關（ZVS）及CPU控制技術，提高了電能轉換效率，不需要功率因數(shù)補償裝置。3、計算機控制系統(tǒng)：采用PLC和上位工業(yè)平板電腦PC機，配備大屏幕觸摸式HMI人機界面、高像素CCD測徑 ADC系統(tǒng)和具有知識產(chǎn)權的“全自動Cz法晶體生長SCADA監(jiān)控系統(tǒng)”，可實現(xiàn)從抽真空—檢漏—爐壓控制—熔料—穩(wěn)定—溶接—引晶—放肩—轉肩—等徑—收尾—停爐全過程自動控制。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，除塵機理示、擴散當含塵氣流中的粉塵顆粒粒徑小于1Lm 以下,特別小于0.1Lm 時，這些顆粒在隨氣流運動時不再沿著氣體流線繞流捕集物，因而也再不能遵循慣性碰撞或接觸阻留的機理被捕集物所捕集分離，而另一捕集機理——擴散在起作用。由于氣體分子之間的熱運動而產(chǎn)生的不規(guī)則運動，使氣體分子之間的熱運動而產(chǎn)生的不規(guī)則運動，使氣體分子轟擊著粉塵顆粒而使顆粒作擴散，可以使粉塵顆粒均勻地分布于整個氣體空間。真空技術網(wǎng)(認為如果有一物體置于氣體之中，一些超微顆粒通過擴散而沉降在這物體的表面上，從而使這些超微顆粒從氣體中捕集分離、靜電力懸浮在氣流中的塵粒，如帶有一定的電荷，可以通過靜電力使它從氣流中分離。由于自然狀態(tài)下，塵粒的荷電量很小，因此，要得到較好的除塵效果，設置的高壓電場，使所有的塵粒都充分荷電。凝聚凝聚作用不是一種直接的除塵機理。通過超聲波、蒸汽凝結、加濕等凝聚作用，可以使微小粒子凝聚增大，然后再用一般的除塵方法去除。我們設計除塵器時要根據(jù)不同的具體情況，考慮一定的需要，采用某種除塵機理或者是幾種除塵機理的綜合運用。表1 列出幾種除塵機理的除塵情況供為參考。
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