發(fā)黑通常是由于過早氧化造成的。泛黃一般是因?yàn)殇X源中含有雜質(zhì)過多，一般純度應(yīng)在4 N或5N以上。無論是涂布機(jī)的真空度不達(dá)標(biāo)，都要達(dá)到10—7倍Pa。（不準(zhǔn)確）。涂敷物品的清洗不，表面殘留有清潔劑和水。被涂物品表面溫度不合理，溫度過高或過低。涂層項(xiàng)目的潛在設(shè)置不合理。真空擴(kuò)散泵油應(yīng)更換。調(diào)節(jié)蒸發(fā)源的溫度，不能太低或太高。如果電子束蒸發(fā)，電子束的轟擊位置也應(yīng)該調(diào)整。

需要鍍膜的被稱為基片，鍍的材料被稱為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。
蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面，通過成膜過程（散點(diǎn)－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長）形成薄膜。 對(duì)于濺射類鍍膜，可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來，并且終沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過程，終形成薄膜。

利摘要顯示，本申請(qǐng)關(guān)于一種真空鍍膜自動(dòng)加料裝置，涉及真空鍍膜領(lǐng)域。該真空鍍膜自動(dòng)加料裝置包括支架，支架上安裝有滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，滑動(dòng)機(jī)構(gòu)上安裝有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以及加料機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的動(dòng)力輸出端與加料機(jī)構(gòu)傳動(dòng)連接；加料機(jī)構(gòu)的上方還安裝有儲(chǔ)料罐，儲(chǔ)料罐將粉料輸送至加料機(jī)構(gòu)內(nèi)，加料機(jī)構(gòu)與外部管式爐的進(jìn)料口接駁；其中，儲(chǔ)料罐上還安裝有攪拌機(jī)構(gòu)，攪拌機(jī)構(gòu)將儲(chǔ)料罐內(nèi)的粉料均勻的輸送至加料機(jī)構(gòu)內(nèi)。實(shí)現(xiàn)了在CVD過程中，粉末狀態(tài)的蒸發(fā)材料（如派瑞林）少量、連續(xù)進(jìn)入管式爐以進(jìn)行后續(xù)的加熱、升華、裂解工藝，既滿足了蒸發(fā)材料的用量，又達(dá)到了實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)調(diào)整進(jìn)料量的目的，提升了鍍膜效果，并實(shí)現(xiàn)了一種以上的蒸發(fā)材料復(fù)合鍍膜的工藝需求。

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