ULVAC愛發(fā)科DOP-301SB無油干泵溫度過高維修 維修,讓您的設備煥發(fā)新生。
ULVAC愛發(fā)科DOP-301SB無油干泵是無油真空設備,ULVAC愛發(fā)科DOP-301SB無油干泵核心作用是在無工作液的情況下抽取氣體,例如,在被抽容器內的真空度達到要求后,可以降低干泵的轉速,減少抽氣量,從而節(jié)省電能消耗獲得并維持真空環(huán)境,廣泛用于半導體、醫(yī)藥、化工等領域。?
電氣檢測工具:萬用表(測量電壓、電流、電阻,精度 ±0.5%)、鉗形電流表(測量電機運行電流,量程 0-500A)、絕緣電阻表(測量電機繞組絕緣電阻,量程 0-500MΩ)、示波器(觀察變頻器輸出波形,判斷是否存在諧波干擾)ULVAC愛發(fā)科DOP-301SB無油干泵其主要功能包括:快速建立高真空,避免油污染被抽介質;為了幫助相關從業(yè)者、研究人員以及設備維護人員、深入地了解真空泵與干泵,本文將從二者的基本概念入手,系統(tǒng)剖析它們之間的區(qū)別,詳細梳理其主要應用領域,并深入探討在實際運行中可能出現(xiàn)的故障及相應的應對策略,為設備的選型、使用、維護提供且實用的參考依據(jù)適應腐蝕性、易燃易爆氣體,保障生產安全;干泵能夠滿足封裝測試工藝對真空度的要求,確保封裝測試過程的順利進行通過控壓,滿足不同工藝對真空度的要求。
ULVAC愛發(fā)科DOP-301SB無油干泵?
2.2 干泵的基本概念?
干泵,全稱為干式真空泵,是真空泵家族中的一個重要分支,其核心特點是在抽氣過程中不使用油或其他液態(tài)工作介質來實現(xiàn)密封和潤滑?
(5)節(jié)能:許多新型干泵采用了的節(jié)能技術,如優(yōu)化的轉子結構、的電機、智能的調速系統(tǒng)等,能夠有效降低設備的能耗例如,一臺小型的油式旋片真空泵在運行時,其噪音通常在 65 - 75 dB(A)之間,振動也相對較大?
底座松動與共振:設備安裝時若地腳螺栓未擰緊(扭矩不足設計值的 80%),運行時會出現(xiàn)底座位移,產生撞擊噪音;若干泵的運行頻率與廠房結構的固有頻率接近,會引發(fā)共振,放大噪音和振動這是干泵頻發(fā)的故障之一,約占故障總量的 35%例如,在芯片的鍵合工藝中,需要將芯片與引線框架或基板進行連接,在高真空環(huán)境下進行鍵合可以提高鍵合的強度和可靠性,減少氣泡和雜質的產生這些污染物會占據(jù)泵腔有效容積,降低抽氣能力,同時增加轉子運行阻力,進一步影響真空性能某石化企業(yè)的干泵因處理 300℃的裂解氣,冷卻水路散熱不足,泵腔溫度升至 140℃,觸發(fā)報警
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ULVAC愛發(fā)科DOP-301SB無油干泵常見故障及處理方法:一是真空度不足,?
故障表現(xiàn)為電機啟動時發(fā)出 “嗡嗡” 聲但轉子不轉動,或運行中突然停機,嚴重時會導致電機過載燒毀多因進氣口堵塞或密封件老化,需清理進氣通道、更換密封件;?
排氣阻力增大:排氣管道堵塞、排氣閥卡滯會導致泵腔內排氣壓力升高,形成背壓二是異常噪音,可能是軸承磨損?
故障表現(xiàn)為電機啟動時發(fā)出 “嗡嗡” 聲但轉子不轉動,或運行中突然停機,嚴重時會導致電機過載燒毀或轉子卡滯,應檢查軸承并潤滑,?
(2)適應多種介質:如前所述,干泵能夠處理腐蝕性、易燃易爆、含顆粒雜質等多種類型的氣體介質,具有較強的介質適應性若轉子卡頓需拆解清理異物;泵體通常采用鑄鐵或鋁合金材料制造,內部加工有與螺桿相匹配的螺旋形腔體;螺桿一般采用高強度合金鋼材料制造,并經過精密加工和表面處理,以其精度和耐磨性;主動螺桿通過聯(lián)軸器與電機和減速器相連,在電機的驅動下帶動從動螺桿高速旋轉(兩根螺桿的旋轉方向相反)三是電機過熱,某企業(yè)的干泵因電機繞組絕緣層老化破損,出現(xiàn)匝間短路,繞組溫度驟升至 180℃,終導致電機燒毀通常是散熱不良或如軟啟動器的晶閘管損壞,無法實現(xiàn)平滑啟動,啟動電流瞬間達到額定值的 6-8 倍,超過報警閾值負載過大,要清潔散熱風扇,排查是否有氣體過載?
(3)真空性能:隨著技術的不斷進步,現(xiàn)代干泵的真空性能得到了顯著提升,不僅能夠快速建立高真空環(huán)境,還能在長期運行過程中保持穩(wěn)定的真空度情況,必要時降低抽氣負荷。
由于工作介質和工作原理的不同,真空泵與干泵在結構設計上也存在顯著差異處理故障前需斷電,確保操作安全。
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