深圳鉭鈮礦化驗(yàn)實(shí)驗(yàn)室／檢測中心秉承：管理科學(xué)，公平公正；操作規(guī)范，數(shù)據(jù)準(zhǔn)確；安全保密，廉潔自律的質(zhì)量方針和第三方公正實(shí)驗(yàn)室的職業(yè)道德，熱誠為國內(nèi)客戶提供標(biāo)準(zhǔn)、檢測、認(rèn)證工作的服務(wù)。

氮化鉭為黃綠色結(jié)晶，屬型結(jié)晶，相對密度為15.6。晶格常數(shù)為a=0.4336nm，c=0.4150nm。熔點(diǎn)為2950℃，顯微硬度為3200kg/mm2，轉(zhuǎn)化點(diǎn)溫度為17.8K。

利用磁控反應(yīng)濺射技術(shù)制備了氮化鉭薄膜，利用ＴＥＭ、ＸＲＤ技術(shù)研究了薄膜的微觀結(jié)構(gòu)。研究結(jié)果表明：薄膜中多相共存；薄膜晶粒細(xì)?。ǎ保叮睿碜笥遥煌瑫r還發(fā)現(xiàn)，在一定工作壓力下，隨著氮分壓的提高，氮化物晶粒形成的取向改變，即平行于基體表面生長的晶面會有改變。

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