銥粉回收, 銥粉在半導(dǎo)體封裝中的回收技術(shù)
半導(dǎo)體封裝用銥濺射靶材(純度>99.995%)的回收工藝:
廢料特征:
靶材殘體含Ir 85-92%,摻雜Al?O?或SiO?散熱層。
分離技術(shù):
高壓水射流(350MPa)剝離陶瓷層(效率>99%)。
真空感應(yīng)熔煉(1600℃)去除氧化物夾雜。
再生標準:
參數(shù) SEMI F47標準 再生靶材
電阻率(μΩ·cm) ≤5.3 5.1
晶粒尺寸(μm) 10-50 35
市場影響:臺積電采用該技術(shù)后,靶材采購成本下降28%。
銥粉回收的微生物冶金回收突破
極端嗜酸菌(Acidianus brierleyi)浸出低品位銥礦(0.3% Ir):
培養(yǎng)條件:
pH=1.5,70℃,通氣量0.5L/min。
作用機理:
菌體分泌胞外聚合物(EPS)絡(luò)合Ir3?。
工藝指標:
階段 時間(h) 銥浸出率(%)
生物氧化 120 82
化學(xué)強化 24 95
環(huán)保優(yōu)勢:較傳統(tǒng)氰化法減少廢水排放90%。
銥粉回收 銥合金廢料(Ir-25Re)的回收工藝
火箭發(fā)動機噴管合金的特殊處理:
溶解難題:
錸(Re)與銥形成固溶體,常規(guī)酸無法溶解。
創(chuàng)新方法:
熔鹽電解(NaCl-KCl-IrCl?,700℃)選擇性沉積銥。
剩余陽極泥提取錸酸銨(NH?ReO?)。
產(chǎn)品指標:
再生銥粉氧含量<500ppm,符合AMS 5898G標準。
戰(zhàn)略價值:該技術(shù)被列入美國部關(guān)鍵材料回收計劃。
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