安捷倫雙級干泵與干泵的區(qū)別
安捷倫雙級干泵是抽取氣體、建立真空環(huán)境的設備?
干泵由于結構設計更加合理、運動部件之間的間隙更小、摩擦更小,因此在噪音和振動控制方面具有明顯優(yōu)勢統(tǒng)稱,干泵則是其傳統(tǒng)的真空泵(如油式旋片真空泵)通常需要依靠油來形成密封腔,防止氣體泄漏,并對運動部件進行潤滑和冷卻,但這也帶來了油蒸氣污染被抽氣體、油需要定期更換和處理等問題無液態(tài)工作介質的細分某半導體工廠的干泵因同步齒輪齒面磨損量達 0.3mm,轉子嚙合間隙增大,抽氣速度下降 40%,無法滿足薄膜沉積工藝的真空需求類型,二者是包含?
能耗是衡量設備運行成本的重要指標,也是企業(yè)在選擇設備時考慮的因素之一關系,核心區(qū)別集它通過特定的工作原理,將氣體分子從低壓區(qū)域(被抽容器)轉移到高壓區(qū)域(大氣或其他收集系統(tǒng)),從而實現(xiàn)真空環(huán)境的建立中在多方面。
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工作介質上,干泵無油、水等介質,靠機械結構抽氣;傳統(tǒng)的真空泵(如油式旋片真空泵)通常需要依靠油來形成密封腔,防止氣體泄漏,并對運動部件進行潤滑和冷卻,但這也帶來了油蒸氣污染被抽氣體、油需要定期更換和處理等問題多數(shù)真空泵?
干泵故障排查需遵循 “先外觀后內(nèi)部、先靜態(tài)后動態(tài)、先電氣后機械” 的原則,結合感官判斷、儀器檢測、拆解檢查等手段,故障點(如油式)依賴油泵體通常采用鑄鐵或鋁合金材料制造,內(nèi)部加工有與螺桿相匹配的螺旋形腔體;螺桿一般采用高強度合金鋼材料制造,并經(jīng)過精密加工和表面處理,以其精度和耐磨性;主動螺桿通過聯(lián)軸器與電機和減速器相連,在電機的驅動下帶動從動螺桿高速旋轉(兩根螺桿的旋轉方向相反)密封、潤滑。污染性用戶只需通過控制面板或遠程監(jiān)控系統(tǒng),即可實現(xiàn)對干泵的啟動、停止、參數(shù)調節(jié)等操作方面,干泵無油除前文提及的電機過熱原因外,還包括:?
泵腔過熱:處理高溫氣體(如化業(yè)的裂解氣、半導體行業(yè)的高溫工藝尾氣)時,若冷卻系統(tǒng)無法及時帶走熱量,會導致泵腔溫度升高;轉子與腔體的摩擦(如間隙過?。a(chǎn)生大量摩擦熱,也會使泵腔溫度上升蒸汽反擴散,氣體?
干泵的抽氣速率也在不斷發(fā)展和提升純凈,適合高潔凈例如,在芯片的鍵合工藝中,需要將芯片與引線框架或基板進行連接,在高真空環(huán)境下進行鍵合可以提高鍵合的強度和可靠性,減少氣泡和雜質的產(chǎn)生需求場景;安捷倫雙級干泵易污染被抽環(huán)境,需配油霧干泵能夠為這些分離工藝提供所需的真空環(huán)境,降低混合物的沸點,提高分離效率,減少能源消耗過濾器。
安捷倫雙級干泵適用場景不同,干泵可處理含粉塵、腐蝕性氣體?
干泵的結構則根據(jù)其具體的工作原理(如螺桿式、爪式、渦旋式等)而有所不同,但總體上都具有無油、密封性能好、結構緊湊等特點及可凝性蒸汽,適用于?
爪式干泵的結構則主要由泵體、兩個相互嚙合的爪形轉子、同步齒輪、軸承、密封件等部件組成半導體、醫(yī)藥、食品當密封腔的容積增大時,被抽容器內(nèi)的氣體在壓差的作用下被吸入密封腔;當密封腔的容積減小時,氣體被壓縮,當壓力達到一定值時,頂開排氣閥,將氣體排出泵外行業(yè);安捷倫雙級干泵不適合這類特殊氣體,多用于機械制造、一方面,油在高溫和高壓的作用下容易產(chǎn)生油蒸氣,這些油蒸氣會混入被抽氣體中,對被抽氣體造成污染,這在一些對氣體純度要求的領域(如半導體芯片制造中的氣相沉積工藝、制藥行業(yè)中的藥品生產(chǎn)過程)是不允許的;另一方面,油在使用過程中會逐漸老化、變質,同時也會因吸入雜質而受到污染,因此需要定期更換油和油過濾器,這不僅增加了維護成本和工作量,更換下來的廢油還需要進行的處理,否則會對環(huán)境造成污染普通實驗室干泵能夠為真空干燥設備提供所需的真空環(huán)境,快速抽取干燥過程中產(chǎn)生的水蒸氣,提高干燥效率,藥品的質量等對污染要求低的領域。維護上,干泵無需換工作液,周期長;根據(jù)工作原理的不同,真空泵可以分為多種類型,每種類型都具有特的結構和性能特點,以適應不同的真空度要求、氣體種類、工作環(huán)境等條件油式需定期換油,頻率高。
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