一定工作壓力下,制備的氮化鉭薄膜硬度高達4000kg/mm2以上。本文探討了氮化鉭薄膜高硬度的原因,并且討論了隨氮分壓的提高薄膜織構(gòu)變化的原因
氮化鉭為黃綠色結(jié)晶,屬型結(jié)晶,相對密度為15.6。晶格常數(shù)為a=0.4336nm,c=0.4150nm。熔點為2950℃,顯微硬度為3200kg/mm2,轉(zhuǎn)化點溫度為17.8K。
氮化鉭貯存
1、通常對水是不危害的,若無許可,勿將材料排入周圍環(huán)境。
2、常溫常壓下穩(wěn)定避免的物料 氧化物。
3、常溫密閉,陰涼通風干燥處
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