浙江下城plc編程回收 浙江下城提拉式長晶爐回收

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全文摘要為減少直拉式單晶生長爐的消耗的技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種直拉式單晶生長爐，其包括輸入管、與輸入管相連通的環(huán)形氣體分布器；其特征在于經(jīng)輸入管輸入的氣壓為0.8×10³Pa0.9×10³Pa，流量為30L/min。還包括設(shè)于坩堝支持器下方和排氣口之間的碗形氣流導(dǎo)向裝置；其包括中軸孔、一對電極孔、以及與排氣口相對的通氣孔；石墨中軸穿過所述氣流導(dǎo)向裝置的中軸孔，所述電極柱分別穿過所述電極孔，排氣口與氣流導(dǎo)向裝置的各通氣孔相連通，氣流導(dǎo)向裝置的上端部設(shè)于保溫筒與發(fā)熱體之間。

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DL-78型單晶爐的熱場和減壓工藝\1前言集成電路生產(chǎn)的發(fā)展一方面不斷縮小元件尺寸，以提高集成度；另一方面不斷擴(kuò)大硅片直徑以減少芯片的離故度和降低成本。相應(yīng)地，作為集成電路基礎(chǔ)材料的硅單晶生產(chǎn)也在不斷地提高其技術(shù)質(zhì)量指標(biāo)和增大單晶錠的直徑和長度，以滿足電路的要求和降低自身的生產(chǎn)成本。在國外市場上，硅晶體直徑大致每4～5年增長1時（25．4mm），相應(yīng)地，生產(chǎn)投料重也由1公斤逐漸發(fā)展為3～5公斤、8～12公斤、15～劉公斤和朋～6O公廳等幾個等級。在這發(fā)展中，有兩個條件是相輔相成、共同進(jìn)步的，這是單晶爐和拉晶工藝。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，單晶爐設(shè)備知識、部分電控柜1.兩個濾波器的作用型號,原理以及正常工作的電壓,輸入輸出(好壞如何檢測)2.兩個伺服驅(qū)動器的作用原理型號以及相關(guān)判斷方式,輸入輸出(好壞如何檢測)3.兩個一般驅(qū)動器的作用原理型號以及判斷方式,輸入輸出(好壞如何檢測)4.繼電器的型號作用以及類別,輸入輸出(好壞如何檢測)5.反饋放大板的作用原理以及各元件名稱作用和原理圖,輸入輸出(好壞如何檢測)6.

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