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本發(fā)明可通過加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置將外部加料器移出工作位并旋開，進而方便拆爐和清理，本發(fā)明的加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置配上工裝還可以吊裝主爐室的零部件；、本發(fā)明可通過副爐室升降驅動裝置和副爐室旋轉驅動裝置驅動副爐室移動，并在副爐室移取晶位的過程中，通過電動接晶托防止晶棒掉落，安全；、當不再繼續(xù)加料時，通過化料器升降驅動裝置將外部化料器提升不干涉主爐室坩堝上升的位置，并通過化料器旋臂的旋轉旋開外部化料器，進而方便拆爐和清理；、本發(fā)明通過減震裝置對下驅動裝置進行減震，使拉晶時下驅動裝置不受外界震動影響，進而保晶棒質量。藍寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，直拉硅單晶熱場加熱器設計分析\1熱場及加熱器簡介直拉硅單晶爐的熱場是指為了熔化硅料,并保持在一定溫度下進行單晶生長的整個溫度場系統(tǒng),主要部件采用石墨材料和炭氈材料[1]。根據(jù)各部分的功能,可以大致分為加熱系統(tǒng)、傳熱及支撐系統(tǒng)、導流系統(tǒng)、保溫系統(tǒng)等。如加熱系統(tǒng)包括加熱器、石墨電極、連接螺栓等部件,傳熱及支撐系統(tǒng)包括石墨坩堝、石英坩堝、托盤、坩堝軸等部件,導流系統(tǒng)包括導流筒等部件,保溫系統(tǒng)包括保溫蓋、保溫筒、保溫炭氈等部件。熱場溫度區(qū)域的分布,直接影響了拉晶生產是否能順利進行,以及晶棒的拉速和品質。
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在本實施例中，所述副爐室升降驅動裝置12的結構和加料器升降驅動裝置的結構一致，所述副爐室旋轉驅動裝置13的結構和加料器旋轉驅動裝置的結構也一致。為了防止在副爐室3移動到取晶位的過程中，因晶棒掉落而出現(xiàn)事故，連續(xù)拉晶單晶爐還包括在副爐室3移動到取晶位的過程中用于承接晶棒的電動接晶托，所述電動接晶托包括提升桿、用于承接晶棒的托板153、電動推桿152、接晶托電機154和固定管151，所述電動推桿152連接在副爐室旋臂14上，所述提升桿連接在電動推桿152的推桿上，以便通過推桿的升降帶動提升桿升降，所述接晶托電機154連接在提升桿上，所述托板153連接在接晶托電機154的輸出軸上，以便通過接晶托電機154驅動托板153旋轉，所述固定管151套裝在提升桿和電動推桿152的推桿的外側，所述固定管151連接在副爐室旋臂14上。
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