浙江寧海分子泵回收 浙江寧海直拉式單晶爐回收
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電氣特點(1)本系統(tǒng)采用PLC，工業(yè)彩色觸摸屏，因此系統(tǒng)結構簡單，具有用電省, 發(fā)熱小的特點。系統(tǒng)可靠性很高，不會死機。同時觸摸屏和PLC間工作，連接僅僅使用1根通訊線即可。(2) 控制軟件、系統(tǒng)能按照工藝員寫入的工藝文件，進行半自動拉晶，可以在顯示器上修改，立即生效，操作方便。自動工藝可以單步執(zhí)行也可以連續(xù)自動流程。在溫度閉環(huán)上增加功率限制，信號故障判斷診斷功能，可以排除觀察孔污染，信號被干擾，加熱電源故障，加熱器短路，加熱器電阻突變，人工輸入失誤等錯誤。(3) 工作站監(jiān)控系統(tǒng)、本系統(tǒng)還配置有工作站監(jiān)控系統(tǒng)，用一臺PC機可同時監(jiān)控8臺單晶爐，采用RS422高速通訊，光電隔離，可靠性高。
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單晶硅生長爐的特點HD系列硅單晶爐的爐室采用3節(jié)設計。上筒和上蓋可以上升并向兩邊轉動，便于裝料和維護等。爐筒升降支撐采用雙立柱設計，提高穩(wěn)定性。支撐柱安裝在爐體支撐平臺的上面，便于平臺下面設備的維護。爐筒升降采用絲杠提升技術，簡便干凈。全自動控制系統(tǒng)采用模塊化設計，維護方便，可靠性高，抗干擾性好。雙攝像頭實時采集晶體直徑信息。液面測溫確保下籽晶溫度和可重復性。爐內溫度或加熱功率控制方式可選，?？販鼐?。質量流量計控制流量。真空計結合電動蝶閥實時控制爐內真空度。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，由于數值模擬提供了一個近似真實的過程，利用這一技術可以很容易的對任何類型的變化（幾何尺寸、保溫材料、加熱器、環(huán)境等）對晶體質量的影響做出容易的判斷。數值仿真是用來獲得廉價的，完整的和細節(jié)的結晶過程，以此方法用來預測晶體生長,改善晶體生長技術。舉例來說，對于無經驗人員，可以形象化展示熔體流動的歷史點缺陷和熱應力細節(jié)。所以數值仿真是一種達到較高生產率和較好滿足市場對晶體直徑，質量要求的辦法。面向過程的仿真軟件FEMAG為用戶提供了可以深入研究的數值工具,用戶通過有效的計算機模擬可以設計和優(yōu)化工作流程。通過對單晶爐熱場的仿真計算，優(yōu)化設計單晶爐的機械結構，在拉晶過程中以仿真結果設定合理的理論拉晶曲線可以在實際生產中是完全可以生長出合格的單晶硅棒。
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