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因此,避免提拉系統(tǒng)的晃動是單晶爐結(jié)構(gòu)設(shè)計的關(guān)鍵點之一。在生產(chǎn)實際中發(fā)現(xiàn),某型號單晶爐的提拉系統(tǒng)在工作轉(zhuǎn)速接近13~14r/min范圍時,提拉系統(tǒng)的軟軸會出現(xiàn)明顯的晃動,這個問題一直制約著晶體生長的質(zhì)量和生產(chǎn)效率的提高。以前雖然提出過很多的解決措施,但其效果均不明顯。本文擬采用有限元分析的方法,對單晶爐的提拉系統(tǒng)進行分析,找出引起提拉系統(tǒng)軟軸晃動
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上虞半導(dǎo)體材料生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)計、制造和調(diào)試的股份制企業(yè)。通過人才引進，擁有一批高、中級技術(shù)型的研發(fā)設(shè)計人員和經(jīng)營管理人才，具有自主的產(chǎn)品設(shè)計開發(fā)能力和相當(dāng)規(guī)模的生產(chǎn)能力。依托浙江大學(xué)機械電子控制工程研究所的高科技優(yōu)勢，通過與浙江大學(xué)大學(xué)科技園杭州慧翔電液技術(shù)開發(fā)有限合作，共同開發(fā)出擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的ZJS系列TDR80A，TDR80B，TDR8，TDR9型全自動晶體生長爐，并形成批量生產(chǎn)。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，D． 罩式爐（主要用于退火，加熱罩可吊移） E． 底升式罩式爐（罩子固定，升降底座，適用于大型爐子） F． 轉(zhuǎn)筒式爐 G． 密封箱式爐（又稱為多用爐，可進行滲碳、光潔淬火、碳氮共滲等熱處理工藝。采用輻射管加熱，輻射管是由耐火陶瓷盤固定的電阻絲裝于一個密封耐熱鋼管中，這樣的結(jié)構(gòu)使?fàn)t內(nèi)氣氛對加熱元件不會有影響）4． 連續(xù)式電阻爐 A． 推送式爐 B． 傳送帶式爐 C． 網(wǎng)帶爐（適用于薄小零件的退火、燒結(jié)、釬焊及固溶處理。
所屬分類：設(shè)備回收/壓縮分離設(shè)備回收
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