大部分的背 散射電子能夠穿過 Inlens SE 探測器,并被 EsB 探測器收集。此外, Inlens EsB 探測器 還可有選擇地收集不同能量的背散射電子。 如果出射角大于 15 度, 則 BSE 無法進入鏡 筒,但會被 AsB (角度選擇背散射) 或可 抽插式 aBSD 探測器探測到。aBSD 探測器 能夠提供樣品的成分襯度、形貌和 3D 表面 信息。樣品室背散射電子探測器( BSD )和 掃描透射電子探測器可以在低加速電壓下 擁有更率,且能實現超速成像。
在工業(yè)質量、失效分析或研究環(huán)境中,由于掃描電子顯微鏡 可提供高分辨率成像和高空間分辨率元素化學信息,所以它
是金相學和失效分析應用的理想之選。
成像靈活.光學顯微鏡和共聚焦顯微鏡二合一
■ 實現反射光和透射光的觀察, 同時也可進 行形貌表征;
■ 使用寬場觀察方式實現樣品的定位, 便于 共聚焦顯微鏡進—步原位分析;
■ 無需切換顯微鏡, 減少儀器設置時間, 提 高獲得結果的效率。
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