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大直徑硅單晶的制備與數(shù)值分析\大直徑硅單晶是微電子工業(yè)的基礎材料,廣泛應用于集成電路備件和硅片制造領域,是現(xiàn)今信息社會的基石。根據(jù)半導體設備材料產(chǎn)業(yè)協(xié)會(SEMI)的報告,大直徑硅單晶的需求依然旺盛,450mm硅單晶要繼續(xù)開發(fā)研究。當前主流集成電路設備用部件急需400mm硅單晶并提出低成本的要求,開發(fā)400mm硅單晶和研究晶體制備的工藝過程,無疑具有重要的理論意義和現(xiàn)實需求。同時,開發(fā)下一代450mm集成電路用硅晶體、研究外加磁場對改善晶體質(zhì)量的作用,對于我國未來制造450mm硅片具有重要的戰(zhàn)略意義。藍寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，為了避免下驅(qū)動裝置4受到外界震動的影響，進而保下驅(qū)動裝置4的工作精度，所述底座1和下驅(qū)動裝置4之間設置有減震裝置，所述下驅(qū)動裝置4的底端設置有承載板41，所述承載板41通過少兩個螺釘16固定連接在底座1上，所訴減震裝置包括與螺釘16分別一一對應的下減震橡膠墊171和上減震橡膠墊181，所述下減震橡膠墊171套裝在螺釘16的下端部，所述下減震橡膠墊171的底部和底座1抵接，所述下減震橡膠墊171的頂部和承載板41抵接，以便于通過下橡膠減震171墊吸收從外界傳來的震動，以避免下驅(qū)動裝置4受到外界震動的影響，所述上減震橡膠墊172套裝在螺釘16的上端部，且所述上減震橡膠墊172與承載板41的上端面壓接，以避免螺釘16的震動影響到承載板41。
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全自動控制系統(tǒng)采用模塊化設計，維護方便，可靠性高，抗干擾性好。雙攝像頭實時采集晶體直徑信息。液面測溫確保下籽晶溫度和可重復性。爐內(nèi)溫度或加熱功率控制方式可選，?？販鼐取Ｙ|(zhì)量流量計控制流量。真空計結(jié)合電動蝶閥實時控制爐內(nèi)真空度。上稱重傳感器用于晶棒直徑的輔助控制。伺服電機和步進電機的混合使用，即可滿足轉(zhuǎn)動所需的扭矩，又可實現(xiàn)轉(zhuǎn)速的控制。質(zhì)量流量計控制流量。自主產(chǎn)權(quán)的控制軟件采用視窗平臺，操作方便簡潔直觀。多種曲線和數(shù)據(jù)交叉分析工具提供了工藝實時監(jiān)控的平臺。完整的工藝設定界面使計算機可以自動完成幾乎所有的工藝過程。加熱電源采用綠色縱向12脈沖直流電源。比傳統(tǒng)直流電源節(jié)能近15%。特殊的溫場設計使晶體提拉速度提高20-30%。
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