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用于熔化硅料的外部化料器7，所述外部化料器7的和加料坩堝62相連通，所述外部化料器7的底端和主爐室坩堝21相連通，以便將硅料加加料坩堝62后，硅料漏外部化料器7后被外部化料器7熔化，被熔化后的硅料流主爐室坩堝21內(nèi)。具體地，外部加料器6和外部化料器7之間設(shè)置有旋閥64，以便通過旋閥64控制外部加料器6和外部化料器7之間是否連通，所述外部化料器包括裝料器71、化料器坩堝72和用于給化料器坩堝72加熱以便硅料熔化的熱場73，所述裝料器71和加料坩堝62相連通，所述化料器坩堝72和裝料器71相連通，
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由于 該爐的排氣口 13與氣流導(dǎo)向裝置20的各通氣孔2-3相連通，整個爐內(nèi)的 一氧化硅與的混合氣體(包括坩堝支持器14下方的混合氣體)能通暢 地排出爐外，整個爐內(nèi)不存在排氣死角，既有效地防止了一氧化硅氣體對 加熱器7和坩堝支持器14等石墨器件的腐蝕，還可有效防止雜質(zhì)粉塵吸附 在這些石墨器件上，從而確保了該爐的使用壽命。氣流導(dǎo)向裝置20的一對 通氣孔2-3與該爐的一對排氣口 13相對設(shè)置，縮短了排氣管路的長度，利 于提高排氣效率。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，因此，在向單晶爐內(nèi)不斷充入 的同時，還用真空泵將混合氣體排出爐外；在排氣時，混合氣體流經(jīng) 爐中的加熱器、坩堝支持器等處，后經(jīng)過爐下端的排氣口排出。上述圖1的單晶爐的不足之處在于單晶爐內(nèi)空間較大，尤其是坩堝 支持器下方的空間較大，導(dǎo)致坩堝支持器下方的混合氣體不能及時排出， 熱能消耗量較大；另外，現(xiàn)有技術(shù)中，從輸入管向爐內(nèi)充入時， 充氣氣壓為1. 3x 103pa，流量為40L/min,因此其消耗量大，生產(chǎn) 成本較高。
所屬分類：設(shè)備回收/壓縮分離設(shè)備回收
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