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本發(fā)明可通過加料器升降驅(qū)動裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置將外部加料器移出工作位并旋開，進(jìn)而方便拆爐和清理，本發(fā)明的加料器升降驅(qū)動裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置配上工裝還可以吊裝主爐室的零部件；、本發(fā)明可通過副爐室升降驅(qū)動裝置和副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置驅(qū)動副爐室移動，并在副爐室移取晶位的過程中，通過電動接晶托防止晶棒掉落，安全；、當(dāng)不再繼續(xù)加料時，通過化料器升降驅(qū)動裝置將外部化料器提升不干涉主爐室坩堝上升的位置，并通過化料器旋臂的旋轉(zhuǎn)旋開外部化料器，進(jìn)而方便拆爐和清理；、本發(fā)明通過減震裝置對下驅(qū)動裝置進(jìn)行減震，使拉晶時下驅(qū)動裝置不受外界震動影響，進(jìn)而保晶棒質(zhì)量。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，進(jìn)一步為了當(dāng)不再繼續(xù)加料時，可以更方便地將外部化料器提升不干涉主爐室坩堝上升的位置，并方便外部化料器的移動、拆解和清理，連續(xù)拉晶單晶爐還包括化料器升降驅(qū)動裝置和化料器旋臂，所述底座上設(shè)置有立柱，所述化料器旋臂鉸接在立柱上，所述化料器升降驅(qū)動裝置連接在化料器旋臂上，所述外部化料器連接在化料器升降驅(qū)動裝置上，以便在不繼續(xù)加料時，通過化料器升降驅(qū)動裝置驅(qū)動外部化料器上升不干涉主爐室坩堝上升的位置；和化料器升降驅(qū)動裝置及外部化料器隨化料器旋臂一起轉(zhuǎn)動。進(jìn)一步提供了一種化料器升降驅(qū)動裝置的具體結(jié)構(gòu)，所述化料器升降驅(qū)動裝置包括支撐桿、絲杠、電機(jī)和連接塊，所述支撐桿連接在化料器旋臂上，所述絲杠可旋轉(zhuǎn)地支承在支撐桿上，所述電機(jī)連接在絲杠上，所述連接塊通過螺紋連接在絲杠上，所述外部化料器連接在連接塊上，以便通過電機(jī)驅(qū)動絲杠旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而將絲杠的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動轉(zhuǎn)換為連接塊的直線運(yùn)動，并通過所述連接塊帶動外部化料器升降。

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