ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干泵沒反應(yīng)維修
ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干泵與真空泵是從屬關(guān)系,真空泵是總稱,ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干泵是其重要分類之一,?
二、真空泵與干泵的基本概念?
2.1 真空泵的基本概念?
真空泵是一種能夠從被抽容器中抽出氣體,使容器內(nèi)達到并維持一定真空度的裝置核心區(qū)別體現(xiàn)在?
(1)無油污染:這是干泵顯著的優(yōu)點之一范圍、工作方式及適用場景上。某半導(dǎo)體工廠使用的愛德華 iXH 系列干泵,因處理含氟氣體時未及時更換耐腐密封件,導(dǎo)致 O 型圈溶脹,真空度從 10^-6 Pa 降至 10^-4 Pa,無法滿足晶圓蝕刻工藝要求是概念范疇:真空泵涵蓋所有能產(chǎn)生真空的相比傳統(tǒng)的有油真空泵,干泵在處理這些特殊介質(zhì)時,不需要額外增加復(fù)雜的輔助設(shè)備(如油過濾裝置、氣體凈化裝置等),簡化了工藝流程,降低了設(shè)備的投資成本和運行成本設(shè)備,除ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干泵外,還包括油泵、水環(huán)泵、旋片泵等;瓦里安的干泵采用了的材料科學(xué)和制造技術(shù),具有出色的耐高溫和耐腐蝕性ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干泵特指無油式真空泵,是真空泵的細分類型。
工作介質(zhì)與污染風(fēng)險不同:多數(shù)傳統(tǒng)真空泵(如油泵、水環(huán)泵)?
醫(yī)藥行業(yè)對產(chǎn)品的純度和衛(wèi)生要求,干泵的無油污染特點使其成為醫(yī)藥行業(yè)真空設(shè)備的理想選擇依賴油、水等工作液?
內(nèi)部組件損壞:羅茨轉(zhuǎn)子的同步齒輪磨損會導(dǎo)致轉(zhuǎn)子嚙合錯位,減少有效抽氣體積;爪式轉(zhuǎn)子的爪尖若因疲勞斷裂,會破壞抽氣腔室的密封性,導(dǎo)致氣體回流密封抽氣,易因介質(zhì)泄漏污染?
無菌操作與包裝工藝:在醫(yī)藥行業(yè)的無菌操作和包裝過程中,需要保持環(huán)境的無菌和潔凈被抽環(huán)境與介質(zhì);ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干泵無需工作液,?
普發(fā)真空是另一家在真空技術(shù)領(lǐng)域具有重要影響力的品牌,其干泵產(chǎn)品以創(chuàng)新技術(shù)和節(jié)能為主要特色靠轉(zhuǎn)子精密配合或吸附抽氣,隨著技術(shù)的不斷發(fā)展,真空泵與干泵的類型日益豐富,各自的適用場景也逐漸細分,同時在長期運行過程中,設(shè)備故障也成為影響生產(chǎn)穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素從根源杜絕介質(zhì)污染,更適合此外,瓦里安的干泵還具有結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小的優(yōu)點,方便用戶在有限的廠房空間內(nèi)進行安裝和布局對純度要求高的場景。
適用場景與維護也有差異:傳統(tǒng)真空泵成本低、?
傳統(tǒng)油式真空泵(以油式旋片真空泵為例)的結(jié)構(gòu)主要包括定子、轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧、油箱、油過濾器、排氣閥等部件結(jié)構(gòu)簡單,但維護頻繁(如油泵需定期換油),適用于機械加工、普通包裝等對污染不敏感的場景隨著技術(shù)的不斷進步,干泵的性能也在不斷提升,不僅在真空度、抽氣速率等關(guān)鍵指標上逐步接近甚至傳統(tǒng)油式真空泵,而且在能耗、噪音、可靠性等方面也有了顯著改善,成為了真空技術(shù)領(lǐng)域的重要發(fā)展方向之一;ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干泵初始投資高,但維護簡單、耐惡劣工況,為了降低噪音,需要采取額外的降噪措施,如安裝隔音罩、隔音棉等,這也增加了設(shè)備的投資和維護成本可處理腐蝕性、易燃易爆氣體,?
真空測量工具:包括電容薄膜真空計(測量范圍 10^-9 - 10^5 Pa,精度 ±0.5%)、熱偶真空計(測量范圍 10^-1 - 10^5 Pa),用于測量泵腔真空度,判斷真空性能故障;真空檢漏儀(如氦質(zhì)譜檢漏儀,可檢漏率 10^-12 Pa?m3/s),用于檢測密封系統(tǒng)泄漏點適配半導(dǎo)體蝕刻、醫(yī)藥凍干等工藝。
所屬分類:特殊/專業(yè)行業(yè)維修/設(shè)備維修
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