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結合單晶爐提拉系統(tǒng)實際結構,進行了系統(tǒng)UG三維實體建模、動平衡數(shù)學建模、計算以及提拉系統(tǒng)動平衡仿真配平工作。系統(tǒng)動平衡分析、計算的結果明,提拉系統(tǒng)配平效果即動平衡效果是比較好的。隨后,針對某型號單晶爐提拉系統(tǒng)的實際結構,進行了提拉系統(tǒng)理論靜不平衡量的大小、相位計算,三維軟件UG建模計算和該設備“以動測靜”法的平衡實驗藍寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，一種實用的單晶爐提拉速度控制系統(tǒng)\前言半導體材料是半導體工業(yè)的基礎材料 ,在半導體材料中用量和用途廣的是半導體硅。當今 95 %以上的半導體器件是用硅材料制造的 ,99%以上的集成電路是硅集成電路。生產(chǎn)集成電路所需要的單晶硅 ,是在硅結晶生長開始時 ,用低速提拉、生長過程均速提拉的辦法制成的。提拉速度的控制性能將直接影響到晶體的質(zhì)量。當今 ,隨著 IT產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展 ,單晶硅生產(chǎn)市場需求劇,研制一種滿足工藝要求、低成本的提拉速度控制系統(tǒng)具有重要的實際意義。
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德國CGS GmbH/德國Crystal Growing Systems (CGS) GmbH成立于1999年8月，其前身為德國萊寶晶體生長部。目前其產(chǎn)品已經(jīng)覆蓋生產(chǎn)6”到16”單晶硅棒的設備，設備主要有EKZ2700、 EKZ 3500/200、EKZ 3000/300，EKZ 3000/400型，投料量分別為60kg、150kg、300kg，400kg。EKZ-2700 EKZ3500/200 EKZ3000/300 EKZ3000/40 德國CGS單晶爐圖（來自產(chǎn)品樣本）近年來，國產(chǎn)單晶硅生長爐設備行業(yè)發(fā)展迅速，已經(jīng)占據(jù)絕大部分的份額。，國內(nèi)單晶硅生長爐設備領域技術進步明顯，逐步解決了單晶硅生長爐的關鍵技術難題，可以滿足太陽能光伏晶體硅制備的需求。
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