江蘇大豐提拉式長晶爐回收 濾波柜回收附近
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單晶硅生長爐原理簡介單晶硅生長爐的特點\單晶硅生長爐是通過直拉法生產(chǎn)單晶硅的制造設(shè)備。主要由主機(jī)、加熱電源和計算機(jī)控制系統(tǒng)三大部分組成。1、主機(jī)部分:機(jī)架,雙立柱\雙層水冷式結(jié)構(gòu)爐體\水冷式閥座\晶體提升及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)\坩堝提升及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)\系統(tǒng)\真空系統(tǒng)及自動爐壓檢測控制\水冷系統(tǒng)及多種安全保障裝置\留有二次加料口2、加熱器電源:全水冷電源裝置采用專利電源或原裝進(jìn)口IG及超快恢復(fù)二極管等功率器件。配以高頻變壓器,構(gòu)成新一代高頻開關(guān)電源。采用移相全橋軟開關(guān)(ZVS)及CPU控制技術(shù),提高了電能轉(zhuǎn)換效率,不需要功率因數(shù)補(bǔ)償裝置。3、計算機(jī)控制系統(tǒng):采用PLC和上位工業(yè)平板電腦PC機(jī),配備大屏幕觸摸式HMI人機(jī)界面、高像素CCD測徑 ADC系統(tǒng)和具有知識產(chǎn)權(quán)的“全自動Cz法晶體生長SCADA監(jiān)控系統(tǒng)”,可實現(xiàn)從抽真空—檢漏—爐壓控制—熔料—穩(wěn)定—溶接—引晶—放肩—轉(zhuǎn)肩—等徑—收尾—停爐全過程自動控制。
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美國KAYEX\國外以美國KAYEX 為代表,生產(chǎn)全自動硅單晶體生長爐。KAYEX是目前世界上,進(jìn)的硅單晶體生長爐制造商之一。KAYEX的產(chǎn)品早在80年代初進(jìn)入市場,已成為半導(dǎo)體行業(yè)使用多的品牌。該生長的硅晶體生長爐從抽真空-檢漏-熔料-引晶-放肩-等徑-收尾到關(guān)機(jī)的全過程由計算機(jī)實行全自動控制。晶體產(chǎn)品的完整性與均勻性好,直徑偏差在單晶全長內(nèi)僅±1mm。主要產(chǎn)品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、 KAYEX120PV、KEYEX150,Vision300型,投料量分別為30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,整個爐內(nèi)的一氧化硅與的混合氣體(包 括坩堝支持器下方的混合氣體)能通暢地排出爐外,整個爐內(nèi)不存在排氣 不暢的地方,即不存在排氣死角,既有效地防止了一氧化硅氣體對加熱器 和坩堝支持器等石墨器件的腐蝕,還可使吸附在這些石墨器件上的雜質(zhì)粉 塵減少30%以上,從而確保了該爐的使用壽命,使所述石墨器件的使用壽 命從原來的90爐次提高11G爐次以上,另外還可對硅晶體的生長過程起 到穩(wěn)定作用,使平均成品率從原來的65%提高68%以上,并可提高單晶 的內(nèi)在質(zhì)量。本發(fā)明的氣流導(dǎo)向裝置的一對通氣孔與該爐的 一對排氣口相 對設(shè)置,縮短了排氣管路,利于提高排氣效率。
所屬分類:設(shè)備回收/冶金設(shè)備回收
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