物理回收法（適用于金屬靶材）
真空熔煉：將屬靶材廢渣（如銅、鈦）在真空爐中（壓強(qiáng) < 1Pa，溫度 1200-1600℃）熔煉，去除易揮發(fā)雜質(zhì)（如鋅），直接澆鑄為新靶材坯料，純度保持 99.9% 以上。
粉末冶金：靶材碎屑經(jīng)氫化 - 脫氫處理（HDH 工藝）制成金屬粉末，再通過壓制 - 燒結(jié)（如放電等離子燒結(jié) SPS）制成靶材，適用于鈦、鋯等活性金屬。
廢渣主要來源
靶材損耗：濺射過程中未沉積的金屬 / 陶瓷靶材粉末（如鈦、鉻、鋯、氮化鈦等）；
設(shè)備維護(hù)：真空腔體內(nèi)殘留的沉積廢料、更換的靶材邊角料；
工藝副產(chǎn)物：反應(yīng)氣體（如 N?、Ar、CH?）與靶材反應(yīng)生成的固態(tài)顆粒物（如碳化物、氮化物）；
廢氣處理殘?jiān)何矚鈨艋b置（如活性炭吸附、過濾器）捕獲的金屬粉塵。
電鍍廢渣，是一種常見的工業(yè)廢料，由于其含有大量有害物質(zhì)，對環(huán)境造成嚴(yán)重污染。然而，電鍍廢渣也是一種潛在的寶藏，其中蘊(yùn)含著許多稀有金屬和有價(jià)值的資源。因此，有效回收電鍍廢渣不僅可以減少環(huán)境污染，還可以提高資源利用率，創(chuàng)造經(jīng)濟(jì)效益。
電鍍廢渣中含有大量的稀有金屬和有價(jià)值的資源，如金、銀、銅等。這些資源具有重要的經(jīng)濟(jì)價(jià)值，但由于電鍍廢渣的特殊性，這些寶貴的資源往往被忽視，直接被丟棄或者未經(jīng)充分回收利用。通過電鍍廢渣的回收，可以有效提高資源利用率，降低資源浪費(fèi)。
廢料預(yù)處理
1. 廢料分類與收集
來源區(qū)分：明確廢料類型（如電子廢料、電鍍廢渣、催化劑、首飾廢料、化工廢料等），不同來源的廢料貴金屬含量和雜質(zhì)成分差異顯著。
物理分揀：通過人工或機(jī)械手段剔除廢料中的非金屬雜質(zhì)（如塑料、陶瓷、玻璃、木材等），例如電子廢料中的線路板、芯片需與外殼分離。
2. 破碎與細(xì)化
對塊狀、固態(tài)廢料（如廢舊金屬器件、合金廢料）進(jìn)行破碎、研磨，使其粒徑減小至便于后續(xù)處理的程度（如粉末狀），提高后續(xù)反應(yīng)的接觸面積。
環(huán)保處理
回收過程中產(chǎn)生的廢液（如含酸、含氰、含重金屬離子）需經(jīng)中和、沉淀、吸附等處理，達(dá)到環(huán)保排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。
固體廢料（如浸出后的殘?jiān)┤羧院⒘抠F金屬或有害成分，需進(jìn)一步安全處置（如固化、填埋）或二次回收。
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