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因此,避免提拉系統(tǒng)的晃動(dòng)是單晶爐結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的關(guān)鍵點(diǎn)之一。在生產(chǎn)實(shí)際中發(fā)現(xiàn),某型號(hào)單晶爐的提拉系統(tǒng)在工作轉(zhuǎn)速接近13~14r/min范圍時(shí),提拉系統(tǒng)的軟軸會(huì)出現(xiàn)明顯的晃動(dòng),這個(gè)問(wèn)題一直制約著晶體生長(zhǎng)的質(zhì)量和生產(chǎn)效率的提高。以前雖然提出過(guò)很多的解決措施,但其效果均不明顯。本文擬采用有限元分析的方法,對(duì)單晶爐的提拉系統(tǒng)進(jìn)行分析,找出引起提拉系統(tǒng)軟軸晃動(dòng)藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長(zhǎng)晶爐回收，多晶長(zhǎng)晶爐回收，臥式長(zhǎng)晶爐回收，拉式單晶爐、收購(gòu)直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，而邊壁的邊界層又是主要影響因素。另一機(jī)理是高濃度塵流中粉塵顆粒的擴(kuò)散與凝聚這對(duì)矛盾中凝聚成為主要矛盾方面。粉塵顆?？梢员舜四墼谝黄?。又可能與實(shí)質(zhì)界面凝聚而吸附在其上面。通過(guò)這兩個(gè)機(jī)理，后粉塵從氣體中分離出來(lái)。 排塵過(guò)程排塵過(guò)程主要是經(jīng)分離界面以后已分離出來(lái)的粉塵排離排塵口，不同的除塵器排塵的作用力也不同。有些除塵器不需要再加額外動(dòng)力能利用原捕集分離的外力把粉塵排離除塵器。而另一些除塵器則需要加額外的動(dòng)力才能把已分離的粉塵排出。 排氣過(guò)程已棄塵后相對(duì)凈化的氣流從排氣口排出的過(guò)程稱(chēng)為排氣過(guò)程。上述基本知識(shí)是除塵器、過(guò)濾器設(shè)計(jì)制造的理論基礎(chǔ)。下面具體討論單晶爐領(lǐng)域除塵技術(shù)。

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在該爐工作前，由設(shè)于排氣口 13上的真空泵將爐內(nèi)空氣排盡，然后從 該爐上端充入。工作時(shí)，爐內(nèi)的石英坩堝上方不斷有一氧化硅和粉塵 雜質(zhì)生成，因此在不斷充入的同時(shí)，所述真空泵同時(shí)將一氧化硅、粉 塵雜質(zhì)與等的混合氣體排出，其中，氣體的流動(dòng)過(guò)程為從石英坩堝上 方經(jīng)坩堝支持器14與發(fā)熱體16之間的間隙，以及發(fā)熱體16與保溫筒17 之間的間隙流入氣流導(dǎo)向裝置20,然后經(jīng)圖6中的氣流導(dǎo)向裝置20的一對(duì) 通氣孔2-3、通氣管19從排氣口 13排出。本實(shí)施例的氣流導(dǎo)向裝置20可有效減小爐內(nèi)空間(尤其是坩堝支持器 14下方的空間)，便于排氣，且利于減少熱能和的消耗量；另外，

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