江蘇戚墅堰整流柜回收 江蘇戚墅堰藍寶石單晶爐回收

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本發(fā)明的直拉式單晶生長爐中，經(jīng) 輸入管輸入的氣壓為0. 8 x 103pa0. 9 x l0a,流量為30L/min。 該流量不但不影響該爐中單晶的生長，平均每個直拉式單晶生長爐每 天可少消耗1440L，有效降低了生產(chǎn)成本，且利于在硅單晶生長過程 中單晶分子排列結(jié)構(gòu)的整齊性，還利于提高電阻率的均布性。(2)本發(fā)明 的直拉式單晶生長爐中，碗形的氣流導(dǎo)向裝置設(shè)于坩堝支持器下方和爐底部的排氣口之間，且氣流導(dǎo)向裝置的中軸孔及一對電極孔分別與該爐的石 墨中軸及一對電極孔配合設(shè)置，有效地減小了爐內(nèi)空間，便于迅速及時地 將爐內(nèi)的一氧化硅與的混合氣體排出，且利于減少熱能和的消耗量，使原有的引晶功率從65KW減到61KW;另外，由于該爐的排氣口與氣流 導(dǎo)向裝置的各通氣孔相連通，

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DL-78型單晶爐的熱場和減壓工藝\1前言集成電路生產(chǎn)的發(fā)展一方面不斷縮小元件尺寸，以提高集成度；另一方面不斷擴大硅片直徑以減少芯片的離故度和降低成本。相應(yīng)地，作為集成電路基礎(chǔ)材料的硅單晶生產(chǎn)也在不斷地提高其技術(shù)質(zhì)量指標和增大單晶錠的直徑和長度，以滿足電路的要求和降低自身的生產(chǎn)成本。在國外市場上，硅晶體直徑大致每4～5年增長1時（25．4mm），相應(yīng)地，生產(chǎn)投料重也由1公斤逐漸發(fā)展為3～5公斤、8～12公斤、15～劉公斤和朋～6O公廳等幾個等級。在這發(fā)展中，有兩個條件是相輔相成、共同進步的，這是單晶爐和拉晶工藝。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，其次，國產(chǎn)設(shè)備相比進口設(shè)備擁有明顯的成本優(yōu)勢，行業(yè)平均價格只有進口設(shè)備的1/36；本生產(chǎn)的全自動單晶硅生長爐產(chǎn)品主要服務(wù)于行業(yè)排名前列的大型客戶，產(chǎn)品銷售價格雖然明顯其他國內(nèi)廠商，但售價仍然只有國外同類設(shè)備的2/3 左右，因此，使用國產(chǎn)設(shè)備可以大大降低國內(nèi)硅片企業(yè)的設(shè)備投資成本。再次，國內(nèi)企業(yè)還擁有貼近市場、反應(yīng)迅速、服務(wù)便捷的明顯優(yōu)勢。憑借這些優(yōu)勢，國產(chǎn)光伏設(shè)備不僅占據(jù)了國內(nèi)絕大部分市場，還實現(xiàn)了批量出口亞洲市場，少量出口到歐美市場。

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