充分發(fā)揮 Gemini 2 型光學(xué)系統(tǒng)的性能優(yōu)勢
GeminiSEM 460 的 特 殊 之 處 在 于 配 備 的 Gemini 2 型光學(xué)系統(tǒng)主要運用了雙聚光鏡， 在獲得理想的小電子束斑同時可連續(xù)調(diào)節(jié)束 流。這使高電子束能量密度下的低束流高分 辨率成像和高束流分析得到了。此外， 您也可以在不同的成像模式之間進行無縫切 換或更改成像參數(shù)。此操作簡便快速，因為 在更改成像參數(shù)后無需進行校準，而且經(jīng)調(diào) 校的掃描電鏡可以保持穩(wěn)定地工作。

Nano-twin 物鏡
Nano-twin 物鏡是一種在低加速電壓條件下 工作的電鏡( EM ) 物鏡。通過優(yōu)化幾何結(jié) 構(gòu)和靜電場及磁場分布， 獲得出色的信號 探測效率， 從而可以在低電壓下達到亞納 米級分辨率。具體來說， 與標準的 Gemini 物鏡相比，它在低電壓下的像差降低了 3 倍。這使得樣品上的磁場降低了 3 倍， 約 為 1mT ，并能夠進行 1kV 以下亞納米成像， 而無需將樣品浸沒在電磁場中。

大部分的背 散射電子能夠穿過 Inlens SE 探測器，并被 EsB 探測器收集。此外， Inlens EsB 探測器 還可有選擇地收集不同能量的背散射電子。 如果出射角大于 15 度， 則 BSE 無法進入鏡 筒，但會被 AsB (角度選擇背散射) 或可 抽插式 aBSD 探測器探測到。aBSD 探測器 能夠提供樣品的成分襯度、形貌和 3D 表面 信息。樣品室背散射電子探測器( BSD )和 掃描透射電子探測器可以在低加速電壓下 擁有更率，且能實現(xiàn)超速成像。

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