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全自動控制系統(tǒng)采用模塊化設計，維護方便，可靠性高，抗干擾性好。雙攝像頭實時采集晶體直徑信息。液面測溫確保下籽晶溫度和可重復性。爐內溫度或加熱功率控制方式可選，保控溫精度。質量流量計控制流量。真空計結合電動蝶閥實時控制爐內真空度。上稱重傳感器用于晶棒直徑的輔助控制。伺服電機和步進電機的混合使用，即可滿足轉動所需的扭矩，又可實現(xiàn)轉速的控制。質量流量計控制流量。自主產(chǎn)權的控制軟件采用視窗平臺，操作方便簡潔直觀。多種曲線和數(shù)據(jù)交叉分析工具提供了工藝實時監(jiān)控的平臺。完整的工藝設定界面使計算機可以自動完成幾乎所有的工藝過程。加熱電源采用綠色縱向12脈沖直流電源。比傳統(tǒng)直流電源節(jié)能近15%。特殊的溫場設計使晶體提拉速度提高20-30%。藍寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，直拉硅單晶熱場加熱器設計分析\1熱場及加熱器簡介直拉硅單晶爐的熱場是指為了熔化硅料,并保持在一定溫度下進行單晶生長的整個溫度場系統(tǒng),主要部件采用石墨材料和炭氈材料[1]。根據(jù)各部分的功能,可以大致分為加熱系統(tǒng)、傳熱及支撐系統(tǒng)、導流系統(tǒng)、保溫系統(tǒng)等。如加熱系統(tǒng)包括加熱器、石墨電極、連接螺栓等部件,傳熱及支撐系統(tǒng)包括石墨坩堝、石英坩堝、托盤、坩堝軸等部件,導流系統(tǒng)包括導流筒等部件,保溫系統(tǒng)包括保溫蓋、保溫筒、保溫炭氈等部件。熱場溫度區(qū)域的分布,直接影響了拉晶生產(chǎn)是否能順利進行,以及晶棒的拉速和品質。
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所述熱場73套裝在化料器坩堝72的外側，便硅料依次進入加料坩堝62、裝料器71和化料器坩堝72，并在化料器坩堝72內經(jīng)熱場73熔化后又進入主爐室坩堝21，為了方便外部加料器6的移動、拆卸和清理，連續(xù)拉晶單晶爐還包括用于驅動外部加料器6升降的加料器升降驅動裝置和用于驅動外部加料器6旋轉的加料器旋轉驅動裝置，所述外部加料器6通過加料器旋臂8連接在加料器升降驅動裝置上，以便通過加料器升降驅動裝置驅動加料器旋臂8升降，并通過加料器旋臂8帶動外部加料器6升降，所述加料器旋轉驅動裝置連接在加料器升降驅動裝置和加料器旋臂8之間，以便加料器旋轉驅動裝置隨加料器旋臂8一起升降，并通過加料器旋轉驅動裝置驅動加料器旋臂8旋轉，加料器旋臂8又帶動外部加料器6旋轉。
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