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單晶硅生長(zhǎng)爐的原理簡(jiǎn)介/我有更好的/,把高純度的多晶硅原料放入高純石英坩堝,通過(guò)石墨加熱器產(chǎn)生的高溫將其熔化;然后,對(duì)熔化的硅液稍做降溫,使之產(chǎn)生一定的過(guò)冷度,再用一根固定在籽晶軸上的硅單晶體(稱(chēng)作籽晶)插入熔體表面,待籽晶與熔體熔和后,慢慢向上拉籽晶,晶體便會(huì)在籽晶下端生長(zhǎng);接著,控制籽晶生長(zhǎng)出一段長(zhǎng)為100mm左右、直徑為3~5mm的細(xì)頸,用于消除高溫溶液對(duì)籽晶的強(qiáng)烈熱沖擊而產(chǎn)生的原子排列的位錯(cuò),這個(gè)過(guò)程是引晶;隨后,放大晶體直徑到工藝要求的大小,一般為75~300mm,這個(gè)過(guò)程稱(chēng)為放肩;接著,突然提高拉速進(jìn)行轉(zhuǎn)肩操作,
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采用了上述技術(shù)方案后,本發(fā)明具有以下有益效果:、取出晶棒后,將硅料加入加料坩堝,蓋上外部加料器的上蓋,將外部加料器真空抽到合適壓力值時(shí)打開(kāi)旋閥,硅料落入外部化料器中并在外部化料器中被熔化,熔化后的硅料流入主爐室坩堝,當(dāng)外部化料器中的硅料加完后,再關(guān)閉旋閥,把外部加料器充常壓,打開(kāi)外部加料器的上蓋繼續(xù)加料,如此循環(huán),進(jìn)而完成外部加料、化料,本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)連續(xù)拉晶,選用合適的主爐室坩堝可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)拉制五六根晶棒,可大幅減少冷卻、拆爐、裝爐的時(shí)間,進(jìn)而提高生產(chǎn)效率;、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計(jì)回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,爐子本體包括機(jī)架、坩堝驅(qū)動(dòng)裝置、主爐室、翻板閥、副爐室、籽晶提升機(jī)構(gòu)、液壓驅(qū)動(dòng)裝置、真空系統(tǒng)、沖系統(tǒng)及水冷系統(tǒng)。機(jī)架由底座、上立柱和下立柱組成,是爐子的支撐裝置。江浙滬皖贛冶煉行業(yè)成套設(shè)備回收單位,整改停用冶煉機(jī)械產(chǎn)品拆除回收,本長(zhǎng)期收購(gòu)中頻爐,單晶爐,電解爐,高風(fēng)爐,熱風(fēng)爐,單晶硅生長(zhǎng)爐,整改回收,整流柜收購(gòu),電抗器拆除回收,水冷電纜拆除收購(gòu),動(dòng)力電纜拆除收購(gòu)業(yè)務(wù),我長(zhǎng)年收購(gòu)單晶爐設(shè)備歡迎來(lái)電詳詢。