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(4) 電氣硬件設置、本系統(tǒng)的電氣柜內(nèi)布局采用模塊化集中管理，各個模塊間連接簡單，單個模塊可以帶電維修，電機保護采用空氣開關和絲結(jié)合的方法便于操作和維護。同時主要的電氣點都能簡單的在端子板上查出。整個機箱布局合理，簡單。同時帶有雙色聲光報*燈進行提示。藍寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，為現(xiàn)有技術的切克勞斯基(直拉)法制造硅單晶的直拉式單晶生長 爐的剖面結(jié)構示意圖2為圖1中的輸入管與環(huán)形氣體分布器的結(jié)構示意圖3為實施例1中直拉式單晶生長爐的氣流導向裝置的結(jié)構示意圖4為圖3的A-A剖面視圖5為為圖3的B-B剖面視圖6為實施例1中直拉式單晶生長爐的剖面結(jié)構示意圖7為實施例1中直拉式單晶生長爐的另一剖面結(jié)構示意圖。

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為了配合di76．Zmm器件生產(chǎn)線的發(fā)展，我所研制了國內(nèi)臺15～30公斤的DL。78型單晶爐［‘］，并在該單晶爐上研究了48Omm硅單晶的控制工藝［‘］。在控制大直徑硅單晶的過程中，涉及的面比較廣，尤其是從我國原有1公斤、th3orum級的基礎上跳躍到12公斤、680mm硅單晶的拉制工藝，需要研究討論的問題很多，例如，熱場的設計、減壓工藝的設計與調(diào)整