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電控系統(tǒng)采用微機(jī)控制,功能全、精度高、穩(wěn)定性好。且具有以下特點(diǎn):溫度自動控制系統(tǒng)\電機(jī)調(diào)速控制系統(tǒng)\單晶直徑自動控制系統(tǒng)\單晶熔體自動跟蹤系統(tǒng)\單晶重量及長度顯示功能\各拉晶有關(guān)參數(shù)包括籽晶軸,坩堝軸的轉(zhuǎn)動速度,晶升和堝升速度,爐內(nèi)壓力,冷卻部位溫度等數(shù)據(jù)都采用數(shù)字顯示儀表指示,兩筆記錄儀記錄溫度和籽晶拉速,能穩(wěn)定的控制生長直徑5~8英寸,直徑均勻的無錯位單晶。采用軟籽晶軸,具有特的晶體提升機(jī)構(gòu)。的磁流體密封技術(shù),新型翻板閥結(jié)構(gòu),拱形封頭式爐蓋結(jié)構(gòu),考慮熱變形采用浮動提升結(jié)構(gòu),防止卡死現(xiàn)象。單晶提拉采用可承受150Kg不銹鋼絲軟軸,電控系統(tǒng)采用微機(jī)控制,紅外測徑技術(shù),進(jìn)口電動及驅(qū)動器,保生長大扭矩高穩(wěn)定性。
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上虞半導(dǎo)體材料生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)計(jì)、制造和調(diào)試的股份制企業(yè)。通過人才引進(jìn),擁有一批高、中級技術(shù)型的研發(fā)設(shè)計(jì)人員和經(jīng)營管理人才,具有自主的產(chǎn)品設(shè)計(jì)開發(fā)能力和相當(dāng)規(guī)模的生產(chǎn)能力。依托浙江大學(xué)機(jī)械電子控制工程研究所的高科技優(yōu)勢,通過與浙江大學(xué)大學(xué)科技園杭州慧翔電液技術(shù)開發(fā)有限合作,共同開發(fā)出擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的ZJS系列TDR80A,TDR80B,TDR8,TDR9型全自動晶體生長爐,并形成批量生產(chǎn)。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計(jì)回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,本發(fā)明的直拉式單晶生長爐中,經(jīng) 輸入管輸入的氣壓為0. 8 x 103pa0. 9 x l0a,流量為30L/min。 該流量不但不影響該爐中單晶的生長,平均每個直拉式單晶生長爐每 天可少消耗1440L,有效降低了生產(chǎn)成本,且利于在硅單晶生長過程 中單晶分子排列結(jié)構(gòu)的整齊性,還利于提高電阻率的均布性。(2)本發(fā)明 的直拉式單晶生長爐中,碗形的氣流導(dǎo)向裝置設(shè)于坩堝支持器下方和爐底部的排氣口之間,且氣流導(dǎo)向裝置的中軸孔及一對電極孔分別與該爐的石 墨中軸及一對電極孔配合設(shè)置,有效地減小了爐內(nèi)空間,便于迅速及時地 將爐內(nèi)的一氧化硅與的混合氣體排出,且利于減少熱能和的消耗量,使原有的引晶功率從65KW減到61KW;另外,由于該爐的排氣口與氣流 導(dǎo)向裝置的各通氣孔相連通,