無塵車間的分類:
1.亂流式(Turbulent Flow)
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無塵室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入無塵室,并由無塵室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。亂流無塵室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣,將污染空氣逐漸稀釋,來實現(xiàn)潔凈的。氣次數(shù)決定定義中的凈化級別(換氣次數(shù)越多,凈化級別越高)。此型式適用于無塵室等級1,級。
優(yōu)點:構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本,無塵室之?dāng)U充比較容易,在某些用途場所,可并用無塵工作臺,提高無塵室等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制
程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當(dāng)長一段時間。
2.層流式(Laminar)
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率之過濾器進入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng),此型式適用于無塵室等級需定較高之環(huán)境使用,一般其無塵室等級為Class 1~100。其型式可分為二種:
⑴水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在下流側(cè)污染較嚴重。
優(yōu)點:構(gòu)造簡單,運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。
⑵垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。
優(yōu)點:管理容易,運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點:構(gòu)造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當(dāng)占空間,維修更換過濾器較麻煩。
3.復(fù)合式(Mixed Type)
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
⑴潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。
此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴充容易; B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
⑵潔凈管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
⑶并裝局部無塵室(Clean Spot):將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。
潔凈工作臺:等級Class 1~100級。
潔凈工作棚:為在亂流式之無塵室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機組而成為一較之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米左右,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動輪,可為彈性運用。
無塵車間的構(gòu)成:
一般情況下,無塵車間是指器械生產(chǎn)和檢驗所需的工作環(huán)境,對于生產(chǎn)環(huán)節(jié),應(yīng)包括與生產(chǎn)產(chǎn)品工藝流程相對應(yīng)的功能間,如注塑間、干燥間等;對于檢驗環(huán)節(jié),應(yīng)包括與檢驗有關(guān)的功能間,如陽性對照間、無菌檢驗間和微生物限度間等;為生產(chǎn)服務(wù)的功能間,如洗衣間、潔具間等以及連接各功能間的緩沖過渡通道。
無塵車間的氣流組織形式是實現(xiàn)潔凈環(huán)境的重要措施。一般氣流組織形式有非層流方式或?qū)恿鞣绞絻煞N。用高度凈化的空氣把車間內(nèi)產(chǎn)生的粉塵稀釋,叫做非層流方式(亂流方式)。用高度凈化的氣流作為載體,把粉塵排出,叫做層流方式。層流方式有垂直層流和水平層流兩種。從房頂方向吹入清潔空氣通過地平面排出叫垂直層流式,從側(cè)壁方向刮入清潔空氣,從對面?zhèn)缺谂懦鼋兴綄恿魇?。亂流方式由于換氣次數(shù)的變化潔凈度也隨之變化。
無塵車間的氣流應(yīng)滿足潔凈度和人體健康的要求,如關(guān)鍵工作操作點應(yīng)位于潔凈空氣流的上風(fēng)側(cè),對散發(fā)有害物質(zhì)的工作點,人的頭部應(yīng)避免在其空氣流正對的下風(fēng)側(cè)。應(yīng)使無塵車間氣流流
向單一。非單向流無塵車間內(nèi)設(shè)置操作臺時,其位置應(yīng)遠離回風(fēng)口。產(chǎn)品也不應(yīng)擺放在回風(fēng)口附近,因為回風(fēng)口處的潔凈度比較差?;仫L(fēng)口應(yīng)均勻布置在無塵車間的下部,高度應(yīng)低于工作臺面。無塵車間內(nèi)有局部排風(fēng)裝置時,其位置應(yīng)設(shè)在工作室氣流的下風(fēng)側(cè),以免氣流短路。
什么是十萬級無塵車間?
十萬級無塵車間是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒、有毒有害空氣、病源等的污染物排除出去,并將無塵室內(nèi)的溫度、潔凈度、氣流速度與氣流分布、室內(nèi)壓力、噪音振動及照明、靜電等控制在某一個需求的范圍以內(nèi),而所設(shè)計出來具有特別意義的房間或環(huán)境室。另外,無論是車間外空氣條件怎樣發(fā)生不同變化,室內(nèi)也能夠具有維持原先所設(shè)定要求的溫濕度、潔凈度及壓力等性能的特性。
十萬級無塵車間的車間裝修設(shè)計規(guī)劃:
1、工程驗收:工程驗收的檢測應(yīng)在整體工程完成后進行;檢測應(yīng)為空態(tài)或靜態(tài),當(dāng)有需要時也可經(jīng)建設(shè)方(委托方)和檢驗方協(xié)商確定檢驗狀態(tài);檢驗前,應(yīng)對所測環(huán)境完全清潔,系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)運行12h以上。
2、墻面:建筑裝飾材料應(yīng)潔凈室的氣密性和裝飾表面不產(chǎn)塵、不吸塵、不積塵、易清理并防火;結(jié)構(gòu)包柱。
3、地面:地面應(yīng)平整,地坪漆應(yīng)采用耐腐蝕、耐磨和抗靜電材料。
4、門窗:門窗應(yīng)平整簡潔、不易積灰、容易清潔,鏈接處進行密封處理。
5、風(fēng)系統(tǒng):材料應(yīng)使用絕熱、耐腐蝕、滿足防火要求;安裝設(shè)備應(yīng)有減震措施。
6、其他:搬運大型設(shè)備的洞口,平時應(yīng)采用不燃燒材料封閉;工業(yè)設(shè)備的安裝不應(yīng)影響潔凈室參數(shù)和服務(wù)功能;如有工業(yè)生產(chǎn)條件,可安裝自檢系統(tǒng)。
無塵車間回收設(shè)備具備的處理能力,能夠快速處理大量的廢棄物,提高生產(chǎn)效率;無塵車間回收設(shè)備采用環(huán)保的處理方法,能夠較大限度地減少廢棄物對環(huán)境的污染,并能夠節(jié)約能源和資源的消耗。
無塵車間回收設(shè)備具備安全可靠的特點,能夠確保操作人員的安全,并且能夠正常運行,減少故障和事故的發(fā)生;無塵車間回收設(shè)備能夠?qū)U棄物進行回收再利用,實現(xiàn)資源的循環(huán)利用,減少對自然資源的消耗。
回收無塵車間:嚴格控制無塵車間的設(shè)計參數(shù)(潔凈度和溫濕度)和無塵車間的面積,尤其是十級、百級級這樣的別單向流無塵車間的面積。因為潔凈級別越高,溫濕度精度要求越高,單位面積能耗越大。因此,實事求是該高則高,不要無原則地提高要求。無塵車間的面積不要留太大余地。尤其是別的無塵車間面積,盡量采用混合流以低級別代替別無塵車間。盡量縮小十級、百級單向流無塵車間的面積。