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產(chǎn)品特點: 獨立自主知識產(chǎn)權(quán)的直線型單臂機(jī)械手,具有高可靠性、高穩(wěn)定性。 設(shè)備配有高效FFU,采用全封閉結(jié)構(gòu),可發(fā)揮超潔凈性能,其潔凈度達(dá)Class1。 可實現(xiàn)對晶圓缺口的檢測并依據(jù)缺口..10月07日
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現(xiàn)階段,硬脆材料切割技術(shù)主要有外圓切割、內(nèi)圓切割和線銘切割。外圓切割組然操作簡單,但據(jù)片剛性差,切割全過程中鋸片易方向跑偏.造成被切割工們的平面度差;而內(nèi)圓切割只有進(jìn)行直線切割,..10月07日
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晶圓傳片設(shè)備主要由潔凈大氣機(jī)械手、晶圓載物臺、晶圓對準(zhǔn)器、視覺系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、空氣過濾器組成一個高潔凈度的運行空間,工廠自動化系統(tǒng)調(diào)度天車將晶圓盒放在晶圓載物臺上,晶圓載物臺通過..10月07日
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內(nèi)圓切割時晶片表層損害層大,給CMP產(chǎn)生挺大黔削拋光工作中最;刃口寬。材料損害大。品片出率低;成木高。生產(chǎn)效率低;每一次只有切割一片。當(dāng)晶圓直徑達(dá)到300mm時。內(nèi)圓刀頭外徑將達(dá)到1.18m..10月07日
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產(chǎn)品特點: 獨立自主知識產(chǎn)權(quán)的直線型單臂機(jī)械手,具有高可靠性、高穩(wěn)定性。 設(shè)備配有高效FFU,采用全封閉結(jié)構(gòu),可發(fā)揮超潔凈性能,其潔凈度達(dá)Class1。 可實現(xiàn)對晶圓缺口的檢測并依據(jù)缺口..10月07日
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晶圓傳片設(shè)備主要由潔凈大氣機(jī)械手、晶圓載物臺、晶圓對準(zhǔn)器、視覺系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、空氣過濾器組成一個高潔凈度的運行空間,工廠自動化系統(tǒng)調(diào)度天車將晶圓盒放在晶圓載物臺上,晶圓載物臺通過..10月07日
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內(nèi)圓切割時晶片表層損害層大,給CMP產(chǎn)生挺大黔削拋光工作中最;刃口寬。材料損害大。品片出率低;成木高。生產(chǎn)效率低;每一次只有切割一片。當(dāng)晶圓直徑達(dá)到300mm時。內(nèi)圓刀頭外徑將達(dá)到1.18m..10月07日
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現(xiàn)階段,硬脆材料切割技術(shù)主要有外圓切割、內(nèi)圓切割和線銘切割。外圓切割組然操作簡單,但據(jù)片剛性差,切割全過程中鋸片易方向跑偏.造成被切割工們的平面度差;而內(nèi)圓切割只有進(jìn)行直線切割,..10月07日
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晶圓在加工過程中,需要對其進(jìn)行劃片處理,目前現(xiàn)有的晶圓劃片設(shè)備村子按以下不足:1、晶圓最初的放置隨意性較大,影響后續(xù)晶圓的對正工作;2、每次只能對晶圓的一個表面進(jìn)行劃片處理,導(dǎo)致正..10月07日
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現(xiàn)階段,硬脆材料切割技術(shù)主要有外圓切割、內(nèi)圓切割和線銘切割。外圓切割組然操作簡單,但據(jù)片剛性差,切割全過程中鋸片易方向跑偏.造成被切割工們的平面度差;而內(nèi)圓切割只有進(jìn)行直線切割,..10月07日
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除了尺寸,三個關(guān)鍵參數(shù)決定刀片特性:金剛石(磨料)尺寸、金剛石含量和粘結(jié)劑的類型。結(jié)合物是各種金屬和/或其中分布有金剛石磨料的基體。這些元素的結(jié)合效果決定刀片的壽命和切削質(zhì)量(TSC與B..10月07日
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晶圓在加工過程中,需要對其進(jìn)行劃片處理,目前現(xiàn)有的晶圓劃片設(shè)備村子按以下不足:1、晶圓最初的放置隨意性較大,影響后續(xù)晶圓的對正工作;2、每次只能對晶圓的一個表面進(jìn)行劃片處理,導(dǎo)致正..10月07日
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在過去三十年期間,切片(dicing)系統(tǒng)與刀片(blade)已經(jīng)不斷地改進(jìn)以對付工藝的挑戰(zhàn)和接納不同類型基板的要求。最新的、對生產(chǎn)率造成最大影響的設(shè)備進(jìn)展包括:采用兩個切割(two cuts)同時進(jìn)行..10月07日
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晶圓傳片設(shè)備主要由潔凈大氣機(jī)械手、晶圓載物臺、晶圓對準(zhǔn)器、視覺系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、空氣過濾器組成一個高潔凈度的運行空間,工廠自動化系統(tǒng)調(diào)度天車將晶圓盒放在晶圓載物臺上,晶圓載物臺通過..10月07日
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現(xiàn)階段,硬脆材料切割技術(shù)主要有外圓切割、內(nèi)圓切割和線銘切割。外圓切割組然操作簡單,但據(jù)片剛性差,切割全過程中鋸片易方向跑偏.造成被切割工們的平面度差;而內(nèi)圓切割只有進(jìn)行直線切割,..10月07日
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晶圓在加工過程中,需要對其進(jìn)行劃片處理,目前現(xiàn)有的晶圓劃片設(shè)備村子按以下不足:1、晶圓最初的放置隨意性較大,影響后續(xù)晶圓的對正工作;2、每次只能對晶圓的一個表面進(jìn)行劃片處理,導(dǎo)致正..10月07日
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產(chǎn)品特點: 獨立自主知識產(chǎn)權(quán)的直線型單臂機(jī)械手,具有高可靠性、高穩(wěn)定性。 設(shè)備配有高效FFU,采用全封閉結(jié)構(gòu),可發(fā)揮超潔凈性能,其潔凈度達(dá)Class1。 可實現(xiàn)對晶圓缺口的檢測并依據(jù)缺口..10月07日
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產(chǎn)品特點: 獨立自主知識產(chǎn)權(quán)的直線型單臂機(jī)械手,具有高可靠性、高穩(wěn)定性。 設(shè)備配有高效FFU,采用全封閉結(jié)構(gòu),可發(fā)揮超潔凈性能,其潔凈度達(dá)Class1。 可實現(xiàn)對晶圓缺口的檢測并依據(jù)缺口..10月07日
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晶圓傳片設(shè)備主要由潔凈大氣機(jī)械手、晶圓載物臺、晶圓對準(zhǔn)器、視覺系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、空氣過濾器組成一個高潔凈度的運行空間,工廠自動化系統(tǒng)調(diào)度天車將晶圓盒放在晶圓載物臺上,晶圓載物臺通過..10月07日
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硅圓片切割應(yīng)用的目的是將產(chǎn)量和合格率最大,同時資產(chǎn)擁有的成本最小??墒牵魬?zhàn)是增加的產(chǎn)量經(jīng)常減少合格率,反之亦然。晶圓基板進(jìn)給到切割刀片的速度決定產(chǎn)出。隨著進(jìn)給速度增加,切割品質(zhì)..10月07日
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