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煙臺生產(chǎn)晶圓理片器槽口對準器

更新時間:2025-10-06 [舉報]

除了尺寸,三個關鍵參數(shù)決定刀片特性:金剛石(磨料)尺寸、金剛石含量和粘結劑的類型。結合物是各種金屬和/或其中分布有金剛石磨料的基體。這些元素的結合效果決定刀片的壽命和切削質量(TSC與BSC)。改變?nèi)魏我粋€這些參數(shù)都將直接影響刀片特性與性能。為一個給定的切片工藝選擇佳的刀片可能要求在刀片壽命與切削質量之間作出平衡。

切割參數(shù)對材料清除率有直接關系,它反過來影響刀片的性能和工藝效率。對于一個工藝為了優(yōu)化刀片,設計試驗方法(DOE, designed experiment)可減少所需試驗的次數(shù),并提供刀片特性與工藝參數(shù)的結合效果。另外,設計試驗方法(DOE)的統(tǒng)計分析使得可以對有用信息的推斷,以建議達到甚至更高產(chǎn)出和/或更低資產(chǎn)擁有成本的進一步工藝優(yōu)化。

在切片或任何其它磨削過程中,在不超出可接受的切削質量參數(shù)時,新一代的切片系統(tǒng)可以自動監(jiān)測施加在刀片上的負載,或扭矩。對于每一套工藝參數(shù),都有一個切片質量下降和BSC出現(xiàn)的極限扭矩值。切削質量與刀片基板相互作用力的相互關系,和其變量的測量使得可以決定工藝偏差和損傷的形成。工藝參數(shù)可以實時調(diào)整,使得不超過扭矩極限和獲得大的進給速度。

標簽:生產(chǎn)晶圓理片器晶圓理片器槽口對準器
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