熱式氣體質量流量計/控制器 超品氣體質量流量控制器 SQC-100氣體質量流量計
概要/氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱MFC）利用溫差量熱法原理，可對氣體的質量流量進行精密測量和控制。用這種方法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力影響。 本產(chǎn)品采用中華人民共和國電子行業(yè)標準SJ/T10583-94以及SJ37所規(guī)定的通用技術條件和命名方法。 MFC出廠通常用氮氣（N2）標定。 質量流量的單位規(guī)定為：SCCM (標準毫升/分)，SLM (標準升/分) 標準狀態(tài)規(guī)定為：溫度---273.15 K（0℃），氣壓—-101325 Pa（760mm Hg） F.S.（Full Scale）：滿量程值
產(chǎn)品特點/本產(chǎn)品具有穩(wěn)定可靠、響應時間短、標定精度和重復精度高等優(yōu)點，安裝方便，無安裝位置和直管段要求，操作簡單，可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用，也可通過模擬/數(shù)字信號轉換器（AD/DA轉換器）配合計算機使用。
流量規(guī)格/(N2標定)0～5,100 SCCM
0～1,2,3,5,10,20,30 SLM
注：滿量程流量不限于此處列出的流量規(guī)格，可以在5SCCM～30SLM范圍內任選，例如123SCCM。
輸入輸出信號
0～+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA)
應用行業(yè)/化學工業(yè)、石化工業(yè)、LNG工業(yè)、半導體材料和微電子工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、特種材料研究、環(huán)保和真空行業(yè)等。使用本產(chǎn)品的設備主要有：真空鍍膜設備、混氣配氣設備、光纖熔煉設備、晶體制備設備、微電子設備、微反應裝置、氣相色譜儀及其它分析儀器等。
質保與服務/我公司承諾對產(chǎn)品的質保期為叁年。在您收貨后叁年以內，如果按照說明書要求使用，遵守安全注意事項，并且產(chǎn)品沒有被損毀、改裝或翻新，若有任何故障和問題，我公司負責免費維修或更換新品。 在保修期外，我們提供終身維修和維護服務，但適當收取維修和維護的成本費。維修和維護后，維修部分的質保期為壹年。 我公司有的售后工程師可以幫助您解決關于安裝和使用等各方面的問題，并且提供產(chǎn)品的使用培訓。
規(guī)格參數(shù)/型號SQC-100
流量量程(N2)/0~5,1SCCM
0~1,2,3,5,1SLM
精度/±1%F.S.(≤15SLM);±2%F.S.(>15SLM)
控制閥動作型式/常閉式
線性/±1%F.S.(≤15SLM);±2%F.S.(>15SLM)
重復精度/±0.2%F.S.
響應時間/≤1sec
輸入輸出信號/0~5V
電氣接頭/DB15 pin(針形)
工作環(huán)境溫度/5~45℃
工作壓差/0.05~0.5MPa(MFC);0.03~3.0MPa(MFM)
漏率/1*10-8SCCS(He)
大耐壓/3MPa
介質接觸材質/316不銹鋼和密封材料
密封材料/氟橡膠,硅橡膠,丁腈橡膠,聚四氟乙烯,金屬密封
接頭尺寸/VCR 1/4";Swagelok 1/8";1/4";φ3,φ6mm
電源要求/+15V,50mA;-15V,200mA

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